特許
J-GLOBAL ID:201403044538431470
圧力センサ
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
伊藤 高順
, 井口 亮祉
, 碓氷 裕彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-049616
公開番号(公開出願番号):特開2014-174121
出願日: 2013年03月12日
公開日(公表日): 2014年09月22日
要約:
【課題】センサチップ及びワイヤが被覆部材で被覆されることにより保護されつつ、高精度の圧力検出ができる圧力センサを提供する。【解決手段】上面(21)にメンブレン(21a)が形成されたセンサチップ(20)と、センサチップを内部に収容するケース(10)と、ケースに固定されたリード(30)と、センサチップの上面とリードとに電気的に接続されたワイヤ(40)と、ケース内に充填され、センサチップの上面およびワイヤを被覆するゲル状の被覆部材(50)と、を備える圧力センサにおいて、ケースは、ワイヤの最頂部(41a)に向かって突出する突出部(60)を有し、被覆部材の上面(51)は、最頂部上で凸形状となり、かつ、メンブレン上で凹形状となっている。【選択図】図2
請求項(抜粋):
上面(21)にメンブレン(21a)が形成されたセンサチップ(20)と、
前記センサチップを内部に収容するケース(10)と、
前記ケースに固定されたリード(30)と、
前記センサチップの上面と前記リードとに電気的に接続されたワイヤ(40)と、
前記ケース内に充填され、前記センサチップの上面および前記ワイヤを被覆するゲル状の被覆部材(50)と、を備える圧力センサにおいて、
前記ケースは、前記ワイヤの最頂部(41a)に向かって突出する突出部(60)を有し、
前記被覆部材の上面(51)は、前記最頂部上で凸形状となり、かつ、前記メンブレン上で凹形状となっていることを特徴とする圧力センサ。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (9件):
2F055CC02
, 2F055CC60
, 2F055DD04
, 2F055EE13
, 2F055EE25
, 2F055FF11
, 2F055FF38
, 2F055GG11
, 2F055HH11
引用特許:
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