特許

J-GLOBAL ID：201403047756312920

保持リング、保持リングに負荷をかけるフレキシブル膜及び保持リングアセンブリ

発明者： スティーヴン エム. ズニガ ,  アンドリュー ジェイ. ネイジェンガスト ,  ジェオンフーン オー
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (6件)： 辻居 幸一 ,  熊倉 禎男 ,  大塚 文昭 ,  西島 孝喜 ,  須田 洋之 ,  上杉 浩
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-024749
公開番号（公開出願番号）：特開2013-116554
特許番号：特許第5568653号
出願日： 2013年02月12日
公開日（公表日）： 2013年06月13日
請求項（抜粋）：

【請求項1】保持リングであって、 基板のエッジを取り囲んで前記基板を保持するように構成された内面と、 研磨パッドに接触するように構成された下面と、 環状上面と、前記環状上面内の2つの環状同心凹部であって、フレキシブル膜とかみ合うよう寸法付けられた前記2つの環状同心凹部と、 前記環状上面と前記下面との間を部分的に延びるホールを形成する複数の円筒形凹部であって、各々の円筒形凹部が、前記保持リングを前記フレキシブル膜に固着する締結部材を収容するように前記2つの環状同心凹部の間に配置された、前記複数の円筒形凹部と、 を有する環状リングを備える、保持リング。

IPC (3件)：

B24B 37/30 ( 201 2.01) ,  B24B 37/32 ( 201 2.01) ,  H01L 21/304 ( 200 6.01)

FI (4件)：

B24B 37/04 V ,  B24B 37/04 Q ,  B24B 37/04 P ,  H01L 21/304 622 G

引用特許：

審査官引用 (3件)

• ポリシングスラリーを供給するキャリヤヘッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-087215   出願人：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド
• 研磨装置および研磨方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-091494   出願人：松下電器産業株式会社
• 化学的/機械的研磨システムに用いる保持リングを備えたキャリヤヘッド
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2000-548126   出願人：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド