特許
J-GLOBAL ID：201403048490916847

波長可変干渉フィルター、光学モジュール、電子機器、および波長可変干渉フィルターの製造方法

発明者：
廣久保 望

廣久保 望 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  宮坂 一彦 ,  渡辺 和昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-189626
公開番号（公開出願番号）：特開2014-048366
出願日： 2012年08月30日
公開日（公表日）： 2014年03月17日
要約：
【課題】小型、低コストな構造で信頼性を確保できる波長可変干渉フィルター、光学モジュール、電子機器、波長可変干渉フィルターの製造方法を提供する。【解決手段】波長可変干渉フィルター5は、固定ミラー55を有する第一基板51と、第一基板51に接合され、可動部522および可動部522に固定される可動ミラー56を備えた第二基板52と、第一基板51とは反対側で第二基板52に接合される第三基板53と、可動部522を基板対向方向に変位させる静電アクチュエーター54とを備え、第一基板51と第二基板52とにより挟まれた第一内部空間581と、第一内部空間581と外部を連通した第一間隙591と、第二基板52と第三基板53とに挟まれた第二内部空間582と、第二内部空間582と外部を連通した第二間隙592と、を有し、第一間隙591および第二間隙592が、封止材518で封止される。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
透光性を有する第一基板と、 前記第一基板に対向し、前記第一基板に接合され透光性を有する第二基板と、 前記第二基板の前記第一基板が設けられる側とは反対側に対向して、前記第二基板に接合され透光性を有する第三基板と、 前記第二基板に設けられ、前記第一基板に対向する可動面を有する可動部と、 前記第二基板に設けられ、前記可動部を前記第二基板の厚み方向に移動可能に保持する保持部と、 前記可動部の前記可動面および前記第一基板の前記第二基板側の面に、所定のミラー間ギャップを介して対向配置される2つのミラーと、 前記第一基板および前記第二基板の互いに対向する面に、それぞれ互いに対向する2つの変位用電極を有し、前記変位用電極に所定の電圧が印加されることで、静電引力により前記可動部を基板厚み方向に変位させる静電アクチュエーターと、を備え、 前記第一基板と前記第二基板、前記第二基板と前記第三基板間は、それぞれ接合層により接合され、前記第一基板と前記第二基板とにより挟まれた第一内部空間および前記第二基板と前記第三基板とに挟まれた第二内部空間を有し、前記第一基板と前記第二基板間に、前記第一内部空間と外部を連通した第一間隙を有し、前記第二基板と前記第二基板間に、前記第二内部空間と外部を連通した第二間隙を有し、前記第一間隙および前記第二間隙には封止材が配置され、前記第一内部空間および前記第二内部空間が密封されている ことを特徴とする波長可変干渉フィルター。
IPC (2件)：
G02B 26/06 ,  B81B 3/00
FI (2件)：
G02B26/06 ,  B81B3/00
Fターム (45件)：
2G020AA03 ,  2G020BA02 ,  2G020BA12 ,  2G020BA20 ,  2G020CA12 ,  2G020CB06 ,  2G020CC23 ,  2G020CC26 ,  2G020CC28 ,  2G020CC47 ,  2G020CC55 ,  2G020CC63 ,  2G020CD03 ,  2G020CD24 ,  2G020CD37 ,  2G020CD51 ,  2H141MA27 ,  2H141MB23 ,  2H141MB28 ,  2H141MC06 ,  2H141MD02 ,  2H141MD04 ,  2H141ME24 ,  2H141ME25 ,  2H141MF21 ,  2H141MF28 ,  2H141MG10 ,  2H141MZ18 ,  2H141MZ22 ,  2H141MZ27 ,  2H141MZ28 ,  2H141MZ30 ,  3C081BA03 ,  3C081BA11 ,  3C081BA28 ,  3C081BA30 ,  3C081BA45 ,  3C081BA48 ,  3C081BA53 ,  3C081BA80 ,  3C081CA14 ,  3C081CA32 ,  3C081CA42 ,  3C081DA22 ,  3C081EA08
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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