特許

J-GLOBAL ID：201403048590034434

形状測定装置

発明者： 山縣 正意 ,  根本 賢太郎 ,  森内 栄介 ,  岩本 正
出願人/特許権者： 株式会社ミツトヨ
代理人 (1件)： きさらぎ国際特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-032094
公開番号（公開出願番号）：特開2014-163690
出願日： 2013年02月21日
公開日（公表日）： 2014年09月08日
要約：

【課題】測定誤差を抑制し且つ測定位置を容易に確認可能な形状測定装置を提供する。【解決手段】形状測定装置は、第1光源1721a、第2光源1721b、光学系、撮像部、及び制御部を有する。第1光源1721aは、可視光を照射する。第2光源1721bは、測定に用いられる測定光を照射する。光学系は、可視光及び測定光をワークの同位置に照射する。撮像部は、ワークにて反射した測定光を撮像する。制御部は、測定位置を定める際に第1光源1721aにより可視光をワークに照射させ、測定をする際に第2光源1721bにより測定光を前記ワークに照射させる。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

可視光を照射する第1光源と、 測定に用いられる測定光を照射する第2光源と、 前記可視光及び前記測定光をワークの同位置に照射する光学系と、 前記ワークにて反射した前記測定光を撮像する撮像部と、 測定位置を定める際に前記第1光源により前記可視光を前記ワークに照射させ、測定をする際に前記第2光源により前記測定光を前記ワークに照射させる制御部と を備えることを特徴とする形状測定装置。

IPC (1件)：

G01B 11/24

FI (1件)：

G01B11/24 K

Fターム (20件)：

2F065AA53 ,  2F065BB22 ,  2F065FF01 ,  2F065FF02 ,  2F065FF09 ,  2F065FF42 ,  2F065GG04 ,  2F065GG21 ,  2F065HH05 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL08 ,  2F065LL13 ,  2F065LL46 ,  2F065NN02 ,  2F065NN12 ,  2F065PP04

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 形状測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-234251   出願人：株式会社ニコン
• 計測装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-098194   出願人：株式会社ニコン
• 距離測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-070186   出願人：三菱電機株式会社