特許
J-GLOBAL ID：201403048868833856

混合液供給装置

発明者：
高田 直人

高田 直人 について

, 
服部 真人

服部 真人 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (1件)： 酒井 宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-251684
公開番号（公開出願番号）：特開2014-097559
出願日： 2012年11月15日
公開日（公表日）： 2014年05月29日
要約：
【課題】フィルタの詰まりを把握することを可能とする混合液供給装置を提供すること。【解決手段】混合液供給装置1はスラリーSを貯留する混合タンク4と送出配管5と送出ポンプ7とフィルタ17と圧力測定手段18と制御手段8を備えている。送出配管5はスラリーSを加工装置2の加工手段2aに送出する。送出ポンプ7はスラリーSに送出圧力を付与してスラリーSを加工装置2に送出する。フィルタ17は送出ポンプ7と加工装置2との間の送出配管5に設けられる。圧力測定手段18はフィルタ17と加工装置2との間の送出配管5に設けられ送出配管5中の圧力を計測する。制御手段8は圧力測定手段18が計測した圧力に基いてフィルタ17が目詰まりしているか否かを判定する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
液体と研磨剤とを混合した混合液を加工装置に供給する混合液供給装置であって、 該混合液を貯留するタンクと、 該タンクに貯留される該混合液を該加工装置に送出する送出経路と、 該タンクと該加工装置との間の該送出経路に配設され該混合液に送出圧力を付与して該混合液を該加工装置に送出する送出ポンプと、 該送出ポンプと該加工装置との間の該送出経路に設けられるフィルタと、 該フィルタと該加工装置との間と、該フィルタと該ポンプとの間とのうち少なくとも一方の該送出経路に設けられ、該送出経路中の圧力を計測する圧力測定手段と、 該圧力測定手段が計測した圧力に基いて、該フィルタが目詰まりしているか否かを判定する判定手段と、を備えた混合液供給装置。
IPC (1件)：
B24B 57/02
FI (1件)：
B24B57/02
Fターム (2件)：
3C047GG13 ,  3C047GG17
引用特許：
審査官引用 (3件)

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