特許
J-GLOBAL ID：201403050923562519
物理量検出デバイス、物理量検出器、電子機器、及び移動体
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
上柳 雅誉
, 宮坂 一彦
, 渡辺 和昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-234483
公開番号（公開出願番号）：特開2014-085232
出願日： 2012年10月24日
公開日（公表日）： 2014年05月12日
要約：
【課題】スプリアスの抑制と、スプリアス周波数を一定に保つ物理量検出デバイスを提供する。【解決手段】物理量検出部と、支持部は、固定部と、物理量検出部側から固定部側に沿って幅が狭くなっている幅狭部と、幅狭部と固定部との間にあって、幅狭部の固定部側の幅よりも幅が広い幅広部とを有して物理量検出部と接続している支持部とを備えていることを特徴とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
物理量検出部と、
前記支持部は、固定部と、前記物理量検出部側から前記固定部側に沿って幅が狭くなっている幅狭部と、前記幅狭部と前記固定部との間にあって、前記幅狭部の前記固定部側の幅よりも幅が広い幅広部とを有して前記物理量検出部と接続している支持部と、
を備えていることを特徴とする物理量検出デバイス。
IPC (5件)：
G01P 15/10
, H01L 41/18
, H01L 41/187
, H01L 41/08
, H01L 41/09
G01P15/10
, H01L41/18 101A
, H01L41/18 101B
, H01L41/18 101D
, H01L41/08 Z
, H01L41/08 C
