特許
J-GLOBAL ID：201403052842186710
ゲッター部材収納具、ゲッター装置及びゲッターポンプ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡本 啓三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-011506
公開番号（公開出願番号）：特開2014-159809
出願日： 2014年01月24日
公開日（公表日）： 2014年09月04日
要約：
【課題】ヒータからの輻射熱を効率良く利用し、かつ、ゲッター部材の活性化を均一に行うことができるゲッターポンプを提供する。【解決手段】容器11と、容器11内に収容されて、複数のディスク状のゲッター部材14が、縦置きに、かつ1以上の階層を形成して収納されたゲッター装置13と、容器11内に収容されて、ゲッター装置13に収納されたゲッター部材14に対面するように配置され、ゲッター部材14を加熱する加熱手段12とを有する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
同心円状に間隔を空けて配置された部材の間にディスク状のゲッター部材を収納するゲッター部材収納具。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (5件)：
3H076AA24
, 3H076BB21
, 3H076BB43
, 3H076CC46
, 3H076CC55
