特許
J-GLOBAL ID：201403053693655139
検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
大野 聖二
, 森田 耕司
, 津田 理
, 鈴木 守
, 加藤 真司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-089124
公開番号（公開出願番号）：特開2014-212091
出願日： 2013年04月22日
公開日（公表日）： 2014年11月13日
要約：
【課題】 カバー部材を設けることにより、異物(パーティクル)が試料表面に付着するのを低減することのできる検査装置を提供する。【解決手段】 検査装置は、電子ビーム源と、電子ビーム源から放射された電子ビームを導く一次電子光学系と、一次電子光学系により導かれた一次電子が照射される試料を配置するステージと、電子ビームの照射により試料の表面から放出された二次荷電粒子を導く二次電子光学系と、二次電子光学系により導かれた二次荷電粒子を検出する検出器を備えている。この検査装置には、ステージに配置される試料の表面を覆うようにステージの上方に設置され電子線を通過させる貫通孔を内部に有する隙間制御板と、二次系レンズのうち貫通孔の内部に配置されるコンデンサレンズに取り付けられ隙間制御板に対して垂直な方向でみたときの貫通孔とコンデンサレンズとの間の隙間をふさぐカバー部材が備えられる。【選択図】 図15
請求項（抜粋）：
電子線を用いて試料表面を検査する検査装置であって、
電子ビーム源と、
一次系レンズを備え、前記電子ビーム源から放射された電子ビームを導く一次電子光学系と、
前記一次電子光学系により導かれた一次電子が照射される試料を配置するステージと、
二次系レンズを備え、前記電子ビームの照射により前記試料の表面から放出された二次荷電粒子を導く二次電子光学系と、
前記二次電子光学系により導かれた二次荷電粒子を検出する検出器と、
前記ステージに配置される試料の表面を覆うように前記ステージの上方に設置され、電子線を通過させる貫通孔を内部に有する隙間制御板と、
前記二次系レンズのうち前記貫通孔の内部に配置されるコンデンサレンズに取り付けられ、前記隙間制御板に対して垂直な方向でみたときの前記貫通孔と前記コンデンサレンズとの間の隙間をふさぐカバー部材と、
を備えることを特徴とする検査装置。
IPC (5件)：
H01J 37/29
, H01L 21/683
, H01J 37/28
, H01J 37/16
, H01L 21/66
H01J37/29
, H01L21/68 N
, H01J37/28 Z
, H01J37/16
, H01L21/66 J
4M106AA01
, 4M106AA09
, 4M106BA02
, 4M106CA39
, 4M106DB12
, 4M106DB19
, 4M106DJ04
, 4M106DJ05
, 4M106DJ06
, 5C033UU03
, 5F131AA02
, 5F131BA39
, 5F131CA12
, 5F131DA33
, 5F131DA34
, 5F131EA02
, 5F131EA22
, 5F131EA23
, 5F131EA24
, 5F131EB11
, 5F131HA12
, 5F131KA16
, 5F131KB32
