特許
J-GLOBAL ID：201403058575802293

レーザ装置

発明者：
矢野 龍介

矢野 龍介 について


出願人/特許権者：
株式会社ミツトヨ

株式会社ミツトヨ について


代理人 (1件)： 家入 健
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-097020
公開番号（公開出願番号）：特開2014-220296
出願日： 2013年05月02日
公開日（公表日）： 2014年11月20日
要約：
【課題】レーザ装置において、外乱などの影響によりレーザ光の周波数が一時的に所定の周波数からずれる現象を検出すること。【解決手段】レーザ光発生部1は、周波数を調整可能なレーザ光を出力する。レーザ光検出部2は、ヨウ素セルにレーザ光を照射し、ヨウ素セルを通過したレーザ光を光電変換して光出力信号Sopt1を出力する。3次微分用ロックインアンプ31は、光出力信号Sopt1の3次微分信号S_D3を生成する。周波数固定部33は、レーザ光発生部1に所定の範囲で前記レーザ光の周波数を変化させ、3次微分信号S_D3に生じる飽和吸収線に対応する振幅を検出し、レーザ光の周波数を所定値に安定させる。エラー検出部32は、3次微分信号S_D3に生じた飽和吸収線に対応する振幅が所定値よりも大きい場合に、エラー信号Err_1を出力する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
周波数を調整可能なレーザ光を出力するレーザ光発生部と、 ヨウ素セルに前記レーザ光を照射し、前記ヨウ素セルを通過した前記レーザ光を光電変換して第1の光出力信号を出力するレーザ光検出部と、 前記第1の光出力信号の微分信号を生成する微分信号生成部と、 前記レーザ光発生部に所定の範囲で前記レーザ光の周波数を変化させ、前記微分信号に生じる飽和吸収線に対応する振幅を検出し、前記レーザ光の周波数を所定値に安定させる周波数固定部と、 前記微分信号に生じた前記飽和吸収線に対応する振幅が所定値よりも大きい場合に第1のエラー信号を出力するエラー検出部と、を備える、 レーザ装置。
IPC (3件)：
H01S 3/137 ,  H01S 3/139 ,  H01S 3/131
FI (3件)：
H01S3/137 ,  H01S3/139 ,  H01S3/131
Fターム (14件)：
5F172AE09 ,  5F172AF02 ,  5F172EE13 ,  5F172NN23 ,  5F172NN24 ,  5F172NP02 ,  5F172NP04 ,  5F172NP16 ,  5F172NP18 ,  5F172NQ06 ,  5F172NQ09 ,  5F172NQ43 ,  5F172NQ62 ,  5F172NS19
引用特許：
審査官引用 (2件)

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