特許
J-GLOBAL ID:200903053506290211

レーザ周波数安定化装置、レーザ周波数安定化方法、及びレーザ周波数安定化プログラム

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 伊丹 勝
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-327218
公開番号(公開出願番号):特開2008-141054
出願日: 2006年12月04日
公開日(公表日): 2008年06月19日
要約:
【課題】飽和吸収線の間隔を測定する精度を必要とせず、経時変化の大きなアクチュエータを用いても、その経時変化に発振周波数の固定を十分に追従させるレーザ周波数安定化装置、レーザ周波数安定化方法、及びレーザ周波数安定化プログラムを提供する。【解決手段】自動ロック部36aは、測定した2次微分信号S2の出力が閾値電圧V2を越えた時、飽和吸収線であると認定し、判断した当該飽和吸収線の本数、及びその飽和吸収線の組み合わせ(飽和吸収線群)に基づき、予め設定した飽和吸収線にレーザ光の発振周波数を固定する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
対向する位置に一対のミラーを配置してなる共振器により励起光を共振させてレーザ光を生成し、該レーザ光を吸収セルに照射して得られる光出力信号に含まれる飽和吸収線に基づき前記共振器長を変化させ前記レーザ光の発振周波数を固定し、安定化するレーザ周波数安定化装置であって、 前記光出力信号を検出する光検出部と、 前記光出力信号の微分信号を検出する微分信号検出部と、 前記共振器長を変化させるアクチュエータと、 前記アクチュエータを駆動させる駆動部と、 前記微分信号に基づき前記駆動部を制御する制御部とを備え、 前記制御部は、前記微分信号の出力に基づいて認定した飽和吸収線の本数、及び当該認定した飽和吸収線の組み合わせに基づき特定の飽和吸収線を選定し、該選定した特定の飽和吸収線に前記レーザ光の発振周波数を固定する ことを特徴とするレーザ周波数安定化装置。
IPC (1件):
H01S 3/139
FI (1件):
H01S3/139
Fターム (17件):
5F172AE09 ,  5F172AF03 ,  5F172EE14 ,  5F172EE19 ,  5F172NN24 ,  5F172NN33 ,  5F172NP04 ,  5F172NP18 ,  5F172NQ09 ,  5F172NQ53 ,  5F172NQ62 ,  5F172NR13 ,  5F172NR14 ,  5F172NS18 ,  5F172NS26 ,  5F172ZA01 ,  5F172ZA02
引用特許:
出願人引用 (3件) 審査官引用 (8件)
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