特許
J-GLOBAL ID:201403061918797011
分光装置、検出装置、光源装置、反応装置及び測定装置
発明者:
,
,
,
,
出願人/特許権者:
,
代理人 (6件):
大塚 康徳
, 高柳 司郎
, 大塚 康弘
, 木村 秀二
, 下山 治
, 永川 行光
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-120520
公開番号(公開出願番号):特開2014-238308
出願日: 2013年06月07日
公開日(公表日): 2014年12月18日
要約:
【課題】分光装置の小型化、高分解能化及び高効率化を実現するのに有利な技術を提供する。【解決手段】所定の波長を含む光を分光する分光装置であって、前記光が入射するスリット110と、前記スリットからの光をコリメートする第1光学系120と、前記第1光学系からの光を回折する透過型回折素子130と、前記透過型回折素子で回折された光を反射する第1ミラーと、前記第1ミラーで反射され、前記透過型回折素子で回折された光を反射する第2ミラーとを含み、前記第1ミラーと前記第2ミラーとの間において前記透過型回折素子を介して光を往復させるように配置される。【選択図】図1
請求項(抜粋):
所定の波長を含む光を分光する分光装置であって、
前記光が入射するスリットと、
前記スリットからの光をコリメートする第1光学系と、
前記第1光学系からの光を回折する透過型回折素子と、
前記透過型回折素子で回折された光を反射する第1ミラーと、前記第1ミラーで反射され、前記透過型回折素子で回折された光を反射する第2ミラーとを含み、前記第1ミラーと前記第2ミラーとの間において前記透過型回折素子を介して光を往復させる第2光学系と、を有し、
前記透過型回折素子に入射する光の入射角度と前記透過型回折素子から射出する光の射出角度とが等しくなるように、前記第1光学系と前記透過型回折素子が配置され、
前記透過型回折素子で回折されて前記第1ミラーに向かう光の光路と、前記第1ミラーで反射されて前記透過型回折素子に向かう光の光路とが、1つの第1平面に存在し、且つ、前記第1平面内で互いに重なり合わないように、前記第1ミラーが配置され、
前記透過型回折素子で回折されて前記第2ミラーに向かう光の光路と、前記第2ミラーで反射されて前記透過型回折素子に向かう光の光路とが、1つの第2平面に存在し、且つ、前記第2平面内で互いに重なり合わないように、前記第2ミラーが配置されていることを特徴とする分光装置。
IPC (4件):
G01J 3/22
, G01J 3/36
, G01J 3/10
, G01N 21/75
FI (4件):
G01J3/22
, G01J3/36
, G01J3/10
, G01N21/75 A
Fターム (17件):
2G020BA02
, 2G020CA02
, 2G020CB23
, 2G020CB42
, 2G020CB54
, 2G020CC02
, 2G020CC42
, 2G020CC63
, 2G020CD24
, 2G054CB03
, 2G054FA14
, 2G054FA16
, 2G054FA18
, 2G054FA32
, 2G054FA34
, 2G054FB02
, 2G054GB01
引用特許:
出願人引用 (7件)
-
特許第6278534号
-
複単色計
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-276219
出願人:アンリツ株式会社
-
分光器
公報種別:公開公報
出願番号:特願2004-356640
出願人:大学共同利用機関法人自然科学研究機構, 分光計器株式会社
全件表示
審査官引用 (3件)
-
特許第6278534号
-
複単色計
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-276219
出願人:アンリツ株式会社
-
分光器
公報種別:公開公報
出願番号:特願2004-356640
出願人:大学共同利用機関法人自然科学研究機構, 分光計器株式会社
引用文献:
前のページに戻る