特許
J-GLOBAL ID:201403063145700938

加工装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 松本 昂 ,  大上 寛
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-269428
公開番号(公開出願番号):特開2014-116460
出願日: 2012年12月10日
公開日(公表日): 2014年06月26日
要約:
【課題】保持手段で保持された被加工物上において、特定の位置を検出することが容易な加工装置を提供する。【解決手段】制御手段は、実際に接触入力された点の座標を画面上座標として記憶する座標記憶部と、基準座標系における保持テーブルに保持された被加工物のXY軸方向の移動量及びXY軸移動方向に基づいて、座標記憶部に記憶されている画面上座標を基準座標系座標に変換する座標変換部と、座標記憶部に記憶されている画面上座標への移動を指示する座標移動指示部と、座標変換部によって変換された基準座標系座標と画面上座標とを照合してX軸移動手段とY軸移動手段とを制御する動作制御部と、を少なくとも有して構成される、加工装置が提供される。【選択図】図6
請求項(抜粋):
被加工物を保持する保持テーブルと、 該保持テーブルで保持された被加工物に加工を施す加工手段と、 該保持テーブルと該加工手段とを相対的にX軸方向に移動するX軸移動手段と、 該保持テーブルと該加工手段とを該X軸方向と直交するY軸方向に相対的に移動するY軸移動手段と、を備えた加工装置であって、 該被加工物を撮像して該被加工物の画像を形成する撮像手段と、 該被加工物の該画像を表示する表示パネルと、 制御手段と、を備え、 該表示パネルは、 該X軸方向に対応したX座標軸と、 該Y軸方向に対応したY座標軸と、 被加工物の該画像に接触入力された点の座標を関知する座標関知部と、を少なくとも備え、 該制御手段は、 実際に接触入力された点の座標を画面上座標として記憶する座標記憶部と、 基準座標系における該保持テーブルに保持された該被加工物のXY軸方向の移動量及びXY軸移動方向に基づいて、該座標記憶部に記憶されている画面上座標を基準座標系座標に変換する座標変換部と、 該座標記憶部に記憶されている画面上座標への移動を指示する座標移動指示部と、 該座標変換部によって変換された基準座標系座標と該画面上座標とを照合して該X軸移動手段と該Y軸移動手段とを制御する動作制御部と、 を少なくとも有して構成される、加工装置。
IPC (1件):
H01L 21/301
FI (1件):
H01L21/78 C
引用特許:
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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