特許
J-GLOBAL ID：200903062522093204
ダイシング装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-130388
公開番号（公開出願番号）：特開2009-278029
出願日： 2008年05月19日
公開日（公表日）： 2009年11月26日
要約：
【課題】各種加工条件の設定を簡単に行うことができ、操作性の高いダイシング装置を提供する。【解決手段】ワークを複数の撮影エリアに分けて部分的に撮影し、得られた部分画像を合成して、ワーク全体の画像を生成する。得られたワーク全体の画像を操作パネル20に表示させ、ワーク全体の画像を見ながら、そのワークに対する加工条件を設定できるようにする。【選択図】 図7
請求項（抜粋）：
ワークテーブルに載置されたワークをあらかじめ設定された加工条件に従って切削するダイシング装置において、
前記ワークテーブルに載置されたワークの一部を顕微鏡で拡大して撮影する撮影手段と、
前記ワークテーブルと前記撮影手段とを相対的に移動させる移動手段と、
前記撮影手段で得られた前記ワークの部分画像を合成して、前記ワークの全体画像を生成する画像合成手段と、
表示手段と、
前記画像合成手段で生成されたワークの全体画像を前記表示手段に表示させる表示制御手段と、
前記ワークの全体画像が表示された前記表示手段の画面上で前記ワークに対する加工条件を設定する設定手段と、
を備えたことを特徴とするダイシング装置。
IPC (3件)：
H01L 21/301
, B24B 49/12
, B24B 49/10
H01L21/78 F
, B24B49/12
, B24B49/10
, H01L21/78 C
3C034AA19
, 3C034CA04
, 3C034CA05
, 3C034CA13
, 3C034CA22
, 3C034CA26
, 3C034CB01
, 3C034CB14
, 3C034DD01
, 3C034DD07
, 3C034DD10
, 3C034DD13
