特許
J-GLOBAL ID：201403065552071522

熱処理装置

発明者：
金 子 裕 史

金 子 裕 史 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (5件)： 勝沼 宏仁 ,  永井 浩之 ,  磯貝 克臣 ,  森 秀行 ,  堀田 幸裕
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-240639
公開番号（公開出願番号）：特開2014-090145
出願日： 2012年10月31日
公開日（公表日）： 2014年05月15日
要約：
【課題】反応管の炉口を密閉する際、反応管のボトムフランジと蓋体とが直接当接することを防止し、かつ密封シールを損傷させることを防止する。【解決手段】熱処理装置1は、下方に炉口3を有する反応管4と、反応管4の炉口3を密閉するとともに、金属製蓋体5Cと、金属製蓋体5Cに支持された石英製蓋体5Bとを有する蓋体5と、反応管4を保持するフランジ保持部材7とを備えている。石英製蓋体5Bは金属製蓋体5C上に支持リング70により固定される。蓋体5による密閉時に支持リング70がフランジ保持部材7の下面に当接し、石英製蓋体5Bと反応管4のボトムフランジ4aとの間に間隙Gが形成される。この間隙Gの半径方向外方に密封シール77が設けられている。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
下方に炉口を有するとともにボトムフランジを有する円筒状の石英製反応管と、 反応管のボトムフランジを保持するフランジ保持部と、 金属製蓋体と、金属製蓋体により支持され反応管の炉口を密閉する石英製蓋体とを有する蓋体とを備え、 石英製蓋体は金属製蓋体に支持リングにより固定され、支持リングがフランジ保持部材の下面に当接して、石英製蓋体とボトムフランジとの間に間隙を形成し、 ボトムフランジと石英製蓋体との間の間隙の半径方向外方に、密封シールを設けたことを特徴とする熱処理装置。
IPC (3件)：
H01L 21/31 ,  H01L 21/22 ,  H01L 21/324
FI (3件)：
H01L21/31 E ,  H01L21/22 511Q ,  H01L21/324 G
Fターム (5件)：
5F045BB20 ,  5F045DP19 ,  5F045DQ05 ,  5F045EB10 ,  5F045EC01
引用特許：
出願人引用 (3件)
  • 縦型熱処理装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-064519   出願人：東京エレクトロン株式会社
  • 熱処理装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-213492   出願人：東京エレクトロン株式会社
  • 縦型熱処理装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-046729   出願人：東京エレクトロン株式会社
審査官引用 (3件)
  • 縦型熱処理装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-064519   出願人：東京エレクトロン株式会社
  • 熱処理装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-213492   出願人：東京エレクトロン株式会社
  • 縦型熱処理装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-046729   出願人：東京エレクトロン株式会社

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