特許
J-GLOBAL ID：201403065813398125
露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
松浦 孝
, 小倉 洋樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-287189
公開番号（公開出願番号）：特開2014-130887
出願日： 2012年12月28日
公開日（公表日）： 2014年07月10日
要約：
【課題】実際の露光動作環境と同じ状況で、高精度の感度検出パターンを形成する。【解決手段】マイクロミラーを2次元配列させた光変調素子アレイを備えた露光装置において、ミラー使用率が漸次的に下がる複数のマスクパターンを用意する。そして、露光動作の度にマスクパターンを順次切り替えてオーバラップ露光動作を実行し、走査方向に沿って連続的にパターン濃度が変化するグラデーションをもつ感度検出パターンを基板に形成する。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
複数の光変調素子を2次元配列させた光変調素子アレイと、
前記光変調素子アレイによって被描画体表面に規定される露光エリアを、主走査方向に沿って連続的に相対移動させる走査部と、
露光エリアの相対位置およびパターンデータに基づいて前記複数の光変調素子を制御し、パターンを前記被描画体に形成する露光動作制御部とを備え、
前記露光動作制御部が、所定の露光ピッチでオーバラップ露光を実行し、
前記露光動作制御部が、主走査方向に向けて総露光量が減少もしくは増加するグラデーションをもつ感度検出パターンを、前記被描画体に形成可能であることを特徴とする露光装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/30 529
, G03F7/20 501
2H097AA03
, 2H097AB07
, 2H097BB01
, 2H097JA02
, 5F146AA25
, 5F146BA07
, 5F146CB35
, 5F146DA02
, 5F146DB01
