特許

J-GLOBAL ID：201403065898663132

温度検出装置の製造方法

発明者： 菅谷 功
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 龍華国際特許業務法人
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-124872
公開番号（公開出願番号）：特開2013-178279
特許番号：特許第5500298号
出願日： 2013年06月13日
公開日（公表日）： 2013年09月09日
請求項（抜粋）：

【請求項1】温度センサと、2つのワークウェハと、スペーサウェハとを備える温度検出装置の製造方法であって、 前記スペーサウェハを前記2つのワークウェハで挟み込んで接合する接合工程と、 前記接合工程の前および後の少なくとも一方で実行され、前記2枚のワークウェハのうち少なくとも一方の前記ワークウェハと前記スペーサウェハとの間に形成された空間に前記温度センサを収容する収容工程と を含む温度検出装置の製造方法。

IPC (2件)：

G01K 1/14 ( 200 6.01) ,  H01L 21/66 ( 200 6.01)

FI (2件)：

G01K 1/14 L ,  H01L 21/66 T

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 温度センサ及びその製造方法並びに製造管理方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-390951   出願人：日本特殊陶業株式会社
• 温度測定板
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-083675   出願人：日本フエンオール株式会社