特許
J-GLOBAL ID：201403066275450630
デジタルTDI方式検出器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中川 邦雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-242275
公開番号（公開出願番号）：特開2014-093616
出願日： 2012年11月02日
公開日（公表日）： 2014年05月19日
要約：
【課題】小型で、TDI段数を増加させることができるとともに、高速で移動する検査物における微小異物でも検出することができるデジタルTDI方式の検出器を提供する。【解決手段】上記課題を解決するために、デジタル的に時間遅延積分(TDI)機能を実現したデジタルTDI方式検出器であって、ひとつのセンサ部の横にTDI動作を行う読み出し回路部を配置した検出部を複数縦方向に隣合わせたブロックと、前記ブロックと同じ構成で前記ブロックの縦方向に前記センサ部の幅分横にずらして配置した別のブロックと、からなることを特徴とするデジタルTDI方式検出器の構成とした。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
デジタル的に時間遅延積分(TDI)機能を実現したデジタルTDI方式検出器であって、
ひとつのセンサ部の横にTDI動作を行う読み出し回路部を配置した検出部を複数縦方向に隣合わせたブロックと、
前記ブロックと同じ構成で前記ブロックの縦方向に前記センサ部の幅分横にずらして配置した別のブロックと、
からなることを特徴とするデジタルTDI方式検出器。
IPC (3件)：
H04N 5/372
, H01L 27/144
, H01L 27/146
H04N5/335 720
, H01L27/14 K
, H01L27/14 A
4M118AA01
, 4M118AB01
, 4M118BA14
, 4M118CA05
, 4M118FA06
, 4M118GA10
, 5C024HX23
, 5C024JX36
, 5C024JX37
