特許
J-GLOBAL ID：201403069550163344
複合部材及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
名古屋国際特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-033473
公開番号（公開出願番号）：特開2014-165267
出願日： 2013年02月22日
公開日（公表日）： 2014年09月08日
要約：
【課題】第1の部材と第2の部材との間を接着剤で接合する複合部材において、接着剤が流出しないようなダムを容易に形成できる複合部材及びその製造方法を提供すること。【解決手段】静電チャック1では、接着剤層97を囲むように各ダム91〜95が形成されており、このダム91〜95は、金属ベース15の接合面11上に、ダム91〜95となる熱硬化型接着剤が塗布された後に硬化することによって形成されたものである。従って、セラミック絶縁板9や金属ベース15に複数の細径の開口部87a、88aが形成されている場合でも、容易に且つ精度良くダム91〜95を形成できる。また、この様にダム91〜95が形成されているので、(接合時に)熱硬化型接着剤がセラミック絶縁板9の外周側や開口部に流出しないようにできる。よって、接着剤の未充填部が生じ難いので、平面方向における熱伝導性のムラが少ない(即ち均熱性が高い)という利点がある。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
第1の部材と、該第1の部材とは異なる材料からなる第2の部材とを、互いの接合面の間に配置された接着剤からなる接着剤層によって接合した複合部材において、
前記第1の部材と前記第2の部材との接合面の間に、前記接着剤層の外周に沿って、該接着剤層を囲むように形成されたダムを備えるとともに、
前記ダムは、前記第1の部材又は前記第2の部材の接合面上に、前記ダムとなる材料が塗布された後に硬化することによって形成されたものであることを特徴とする複合部材。
IPC (3件)：
H01L 21/683
, B23Q 3/15
, H02N 13/00
H01L21/68 R
, B23Q3/15 D
, H02N13/00 D
3C016GA10
, 5F131AA02
, 5F131BA19
, 5F131CA06
, 5F131CA68
, 5F131EA03
, 5F131EB14
, 5F131EB28
, 5F131EB72
, 5F131EB78
, 5F131EB79
, 5F131EB82
