特許
J-GLOBAL ID：201103066000427912

ウエハー載置装置及びその製造方法

発明者：
島津 徳文

島津 徳文 について


出願人/特許権者：
日本碍子株式会社

日本碍子株式会社 について


代理人 (1件)： 特許業務法人アイテック国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-107234
公開番号（公開出願番号）：特開2011-238682
出願日： 2010年05月07日
公開日（公表日）： 2011年11月24日
要約：
【課題】流動性接着剤の硬化物を使用しつつ吸脱着性の高いウエハー載置装置及びその製造方法を提供する。【解決手段】ウエハーWを吸着可能なプレート12の裏面と冷却板20の表面とを接着する接着層30が、流動性接着剤の硬化物からなる主接着部31と外周接着部32と、ガス供給孔接着部33と、リフトピン孔接着部34と、端子孔接着部35,36とを有している。この場合において、外周接着部32がプレート12の裏面の外周縁と冷却板20の表面の外周縁とを接着し、ガス供給孔接着部33と、リフトピン孔接着部34と、端子孔接着部35,36がプレート12の裏面と冷却板20の表面におけるガス供給孔23,リフトピン孔24,端子孔25,26の外周縁とを接着しているため、これらを備えないウエハー載置装置と比べてウエハーWの吸脱着性が高くなる。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
ウエハーを表面に吸着可能な円盤状でセラミックス製のプレートと、 円盤状で金属製の冷却板と、 前記プレートの裏面と前記冷却板の表面とを接着し、流動性接着剤の硬化物からなる第1接着部及び両面テープからなる第2接着部を有する接着層と、 を備え、 前記第2接着部は、前記プレートの裏面の外周縁と前記冷却板の表面の外周縁とを接着している、 ウエハー載置装置。
IPC (1件)：
H01L 21/683
FI (1件)：
H01L21/68 R
Fターム (7件)：
5F031CA02 ,  5F031HA03 ,  5F031HA16 ,  5F031HA37 ,  5F031HA38 ,  5F031MA28 ,  5F031MA32
引用特許：
審査官引用 (5件)
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