特許
J-GLOBAL ID：201403069597000397

加工装置

発明者：
清水 芳昭

清水 芳昭 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (1件)： 酒井 宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-268823
公開番号（公開出願番号）：特開2014-113658
出願日： 2012年12月07日
公開日（公表日）： 2014年06月26日
要約：
【課題】チャックテーブルの位置合わせを容易に行うことを可能とする加工装置を提供すること。【解決手段】切削装置1はチャックテーブル10とチャックテーブル10に保持された被加工物を切削加工する切削手段20とガイド光照射手段30とを備えている。チャックテーブル10はチャックテーブル基台15と嵌合しつつチャックテーブル基台15に着脱自在に保持される。ガイド光照射手段30はチャックテーブル基台15に保持されたチャックテーブル10にガイド光を照射する。チャックテーブル10は表面12aの中心にはガイド光が照射される目印Mを有している。チャックテーブル10をチャックテーブル基台15に嵌合する際に目印Mをガイド光に合致させることでチャックテーブル10がチャックテーブル基台15と嵌合する位置へと案内される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
被加工物を保持面で保持し、該保持面と反対側の面でチャックテーブル基台と嵌合しつつ該チャックテーブル基台に着脱自在に保持されるチャックテーブルと、 該チャックテーブルに保持された該被加工物を加工する加工手段とを備える加工装置であって、 該チャックテーブル基台に保持された該チャックテーブルの所定の位置に可視光線であるガイド光を照射するガイド光照射手段を有し、 該チャックテーブルは、該チャックテーブル基台に保持された際に該ガイド光が照射される位置に目印手段を有し、 該チャックテーブルを該チャックテーブル基台に嵌合する際に、該チャックテーブルの該目印手段を該ガイド光と合致させることで、該チャックテーブルが該チャックテーブル基台と嵌合する位置へと案内される加工装置。
IPC (4件)：
B23Q 3/06 ,  H01L 21/301 ,  B24B 41/06 ,  H01L 21/683
FI (4件)：
B23Q3/06 304E ,  H01L21/78 N ,  B24B41/06 Z ,  H01L21/68 N
Fターム (14件)：
3C016CA04 ,  3C016DA05 ,  3C034AA20 ,  3C034BB73 ,  3C034BB75 ,  3C034DD10 ,  5F131AA02 ,  5F131BA52 ,  5F131CA22 ,  5F131CA47 ,  5F131EA05 ,  5F131EA22 ,  5F131EA24 ,  5F131EB03
引用特許：
出願人引用 (5件)
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