特許
J-GLOBAL ID：201403071036884282

基板収納容器

発明者：
小川 統

小川 統 について

, 
藤森 義昭

藤森 義昭 について


出願人/特許権者：
信越ポリマー株式会社

信越ポリマー株式会社 について


代理人 (4件)： 藤本 英介 ,  神田 正義 ,  宮尾 明茂 ,  馬場 信幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-157410
公開番号（公開出願番号）：特開2014-022434
出願日： 2012年07月13日
公開日（公表日）： 2014年02月03日
要約：
【課題】作業の遅延や煩雑化を招くことなく、容器本体の対向する二方向から基板にアクセスでき、しかも、容器本体の向きを変更する機構や制御等を省略できる基板収納容器を提供する。【解決手段】基板Wを収納する容器本体1と、容器本体1に収納された基板Wを支持する支持体20と、容器本体1の開口部3を開閉する蓋体30と、蓋体30を施錠する施錠機構50とを備え、容器本体1を箱形状に形成してその対向する両端面を開口部3に形成し、支持体20を、容器本体1の内側部に設けられる装着壁21と、装着壁21に設けられる棚片22と、棚片22に設けられ、基板Wを支持する支持突部23と、棚片22に設けられ、基板Wの周縁側部に接触可能な位置ずれ防止壁24とから構成し、支持突部23の表面よりも位置ずれ防止壁24の表面26を高位に位置させ、位置ずれ防止壁24の基板Wの周縁側部に接触可能な接触面27を湾曲させる。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
丸い基板を収納可能な容器本体と、この容器本体に収納された基板を支持する支持体と、容器本体の開口部を開閉する蓋体と、容器本体の開口部を閉じる蓋体を施錠する施錠機構とを含んでなる基板収納容器であって、 容器本体を略箱形状に形成してその相対向する両端面をそれぞれ開口部に形成し、 支持体を、容器本体の内側部に設けられる装着壁と、この装着壁に設けられる棚片と、この棚片の表面に設けられ、基板の裏面周縁部を略水平に支持する支持突部と、棚片の表面に設けられ、支持突部に支持された基板の周縁側部に接触可能な位置ずれ防止壁とから構成し、支持突部の表面よりも位置ずれ防止壁の表面を高位に位置させ、位置ずれ防止壁の基板の周縁側部に接触可能な接触面を基板の周縁側部に応じて湾曲させたことを特徴とする基板収納容器。
IPC (2件)：
H01L 21/673 ,  B65D 85/86
FI (2件)：
H01L21/68 T ,  B65D85/38 R
Fターム (32件)：
3E096AA06 ,  3E096BA16 ,  3E096BB04 ,  3E096CA08 ,  3E096CB03 ,  3E096DA01 ,  3E096DA03 ,  3E096DA17 ,  3E096DA25 ,  3E096DB08 ,  3E096EA02X ,  3E096EA02Y ,  3E096FA09 ,  3E096FA15 ,  3E096FA16 ,  3E096FA26 ,  3E096FA27 ,  3E096FA30 ,  3E096FA31 ,  3E096GA07 ,  3E096GA09 ,  3E096GA13 ,  5F131AA02 ,  5F131CA32 ,  5F131CA37 ,  5F131GA12 ,  5F131GA53 ,  5F131GA63 ,  5F131GA72 ,  5F131GA83 ,  5F131GA88 ,  5F131GA92
引用特許：
出願人引用 (13件)
  • 中継ステーション及び中継ステーションを用いた基板処理システム
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-056362   出願人：東京エレクトロン株式会社
  • ウェハーキャリヤ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-298859   出願人：フルオロウェア・インコーポレーテッド
  • 板状物搬送容器
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-181166   出願人：淀川ヒューテック株式会社, 株式会社ダイヘン, 村田機械株式会社
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審査官引用 (13件)
  • 中継ステーション及び中継ステーションを用いた基板処理システム
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-056362   出願人：東京エレクトロン株式会社
  • ウェハーキャリヤ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-298859   出願人：フルオロウェア・インコーポレーテッド
  • 板状物搬送容器
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-181166   出願人：淀川ヒューテック株式会社, 株式会社ダイヘン, 村田機械株式会社
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