特許
J-GLOBAL ID:201103028905893764
精密基板収納容器
発明者:
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,
出願人/特許権者:
,
代理人 (1件):
特許業務法人あーく特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-239269
公開番号(公開出願番号):特開2011-086806
出願日: 2009年10月16日
公開日(公表日): 2011年04月28日
要約:
【課題】精密基板を、収納容器から取り出したり、収納容器に収納したりする際の摩擦を軽減してこの摩擦に起因する発塵を防止することができる精密基板収納容器を提供する。【解決手段】上面が開口し、内部に精密基板5を収納する容器本体2と、この容器本体2の開口部20に被せられる蓋体3とを具備し、容器本体2の両側壁面22b,22dに、複数枚の精密基板5を保持するリテーナ23が設けられた収納容器1であって、前記リテーナ23は、精密基板5が載置される載置面231に、精密基板5との接触面積を減らす凸部231aが設けられたものである。凸部231aは、容器本体2の底面21側から開口部20側に向かって線状または点線状に凸設するようになされたものである。載置面231は、容器本体2の開口部20付近に、凸部231aの最頂部と面一になる滑り止め面231bが形成されたものである。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
上面が開口し、内部に精密基板を収納する容器本体と、この容器本体の開口部に被せられる蓋体とを具備し、容器本体の両側壁面に、複数枚の精密基板を保持するリテーナが設けられた収納容器であって、
前記リテーナは、精密基板が載置される載置面に、精密基板との接触面積を減らす凸部が設けられていることを特徴とする精密基板収納容器。
IPC (2件):
FI (2件):
H01L21/68 T
, B65D85/38 R
Fターム (31件):
3E096AA06
, 3E096BA15
, 3E096BA16
, 3E096BA19
, 3E096BA20
, 3E096BB04
, 3E096CA09
, 3E096CB03
, 3E096CC02
, 3E096DA01
, 3E096DA05
, 3E096DA23
, 3E096DB06
, 3E096DC01
, 3E096EA02X
, 3E096EA04X
, 3E096FA03
, 3E096FA09
, 3E096FA10
, 3E096GA03
, 3E096GA09
, 3E096GA11
, 5F031CA02
, 5F031DA01
, 5F031DA08
, 5F031EA19
, 5F031FA01
, 5F031FA03
, 5F031FA09
, 5F031MA17
, 5F031PA26
引用特許:
出願人引用 (10件)
-
キャリアカセット
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-163035
出願人:株式会社日立製作所
-
基板収納容器
公報種別:公開公報
出願番号:特願2005-152629
出願人:信越ポリマー株式会社
-
基板収納容器
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-295323
出願人:信越ポリマー株式会社
-
ウェハーキャリヤ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-298859
出願人:フルオロウェア・インコーポレーテッド
-
特許第5078042号
-
特許第5120668号
-
ウェハケース
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-089188
出願人:株式会社日立製作所
-
シート状基板の保持具
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-171709
出願人:三菱化学株式会社
-
ロボットの吸着レスハンド
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-029284
出願人:アシストジャパン株式会社
-
基板収納容器
公報種別:公開公報
出願番号:特願2008-077005
出願人:信越ポリマー株式会社
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審査官引用 (10件)
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キャリアカセット
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-163035
出願人:株式会社日立製作所
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基板収納容器
公報種別:公開公報
出願番号:特願2005-152629
出願人:信越ポリマー株式会社
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基板収納容器
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-295323
出願人:信越ポリマー株式会社
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ウェハーキャリヤ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-298859
出願人:フルオロウェア・インコーポレーテッド
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特許第5078042号
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特許第5120668号
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ウェハケース
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-089188
出願人:株式会社日立製作所
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シート状基板の保持具
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-171709
出願人:三菱化学株式会社
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ロボットの吸着レスハンド
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-029284
出願人:アシストジャパン株式会社
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基板収納容器
公報種別:公開公報
出願番号:特願2008-077005
出願人:信越ポリマー株式会社
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