基板搬送経路の決定方法、基板搬送装置、基板処理装置及びプログラム

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：別役重尚 , 村松聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-041699
公開番号（公開出願番号）：特開2014-170828
出願日： 2013年03月04日
公開日（公表日）： 2014年09月18日
要約：

【課題】基板搬送経路を変更する必要が生じた場合に基板搬送経路を再計算する負荷を軽減すると共に、基板搬送時に基板に掛かる遠心力等の力の管理を容易にし、基板搬入出口に対する基板の干渉を抑制することができる基板搬送経路の決定方法を提供する。【解決手段】基板搬送ロボットによる基板搬送経路を、先ず、始点Oを通る直線Aの軌道を定め、直線Aと接する円弧Aの軌道を算出し、円弧Aに接すると共に終点P2を通る直線Bを算出する。その後に、終点P2の位置が変更された場合には、変更された終点P2aを通ると共に円弧Aと接する直線B1を円弧Aの半径を変化させずに再算出し、基板を保持した基板保持部の中心を、直線A上を移動させた後に直線Aと円弧Aとの接点P3からは円弧A上を移動させ、続いて、円弧Aと直線B1との接点P4aから直線B上を移動させて終点P2aへ到達させる。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

基板搬送ロボットの基板保持部に保持された基板を搬送するために前記基板保持部を所定の始点から終点へと移動させる際の基板搬送経路の決定方法であって、前記基板搬送経路は、前記始点を通る第1の直線の軌道を定め、前記第1の直線と接する円弧の軌道を算出し、前記円弧に接すると共に前記終点を通る第2の直線を算出し、その後に前記終点の位置が変更された場合には、前記円弧の半径を変化させずに前記変更された終点を通ると共に前記円弧と接する直線を前記第2の直線として再算出し、前記基板保持部の中心を、前記第1の直線上を移動させた後に前記第1の直線と前記円弧との接点からは前記円弧上を移動させ、続いて、前記円弧と前記第2の直線との接点からは前記第2の直線上を移動させて前記終点へ到達させるように決定されことを特徴とする基板搬送経路の決定方法。

IPC (2件)：

H01L 21/677 , H01L 21/68

FI (2件)：

H01L21/68 A , H01L21/68 F

Fターム (29件)：

5F131AA02 , 5F131BA19 , 5F131BB04 , 5F131CA18 , 5F131CA22 , 5F131CA34 , 5F131CA35 , 5F131CA39 , 5F131CA55 , 5F131DA42 , 5F131DB02 , 5F131DB52 , 5F131DB57 , 5F131DB62 , 5F131DB72 , 5F131DB76 , 5F131DD03 , 5F131DD33 , 5F131DD52 , 5F131DD74 , 5F131EB72 , 5F131GA14 , 5F131HA28 , 5F131JA07 , 5F131JA08 , 5F131JA09 , 5F131KA40 , 5F131KA55 , 5F131KB55

引用特許：

審査官引用 (5件)

基板搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-050039 出願人：株式会社アルバック
特開平4-123204
多自由度を有するロボット
公報種別：公表公報出願番号：特願2000-563442 出願人：ジェンマーク・オートメーション・インコーポレーテッド

全件表示

前のページに戻る