特許
J-GLOBAL ID：201403072999786630
直交誤差補償を有する角速度センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
本田 淳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-142647
公開番号（公開出願番号）：特開2014-016351
出願日： 2013年07月08日
公開日（公表日）： 2014年01月30日
要約：
【課題】直交誤差に対する補償を有するMEMS角速度センサを提供する。【解決手段】角速度センサ(20)は、基板(22)に柔軟に結合された駆動質量部(36)を含む。感知質量部(42)は、基板(22)の上方に懸垂されるとともに可撓性支持要素(44)を介して駆動質量部(36)に柔軟に接続されている。直交補償電極(24)が駆動質量部(36)に関連付けられ、感知電極(28)が感知質量部(42)に関連付けられている。駆動質量部(36)及び感知質量部(42)は直交誤差に応答して感知軸(50)に対してともに振動する。直交誤差は、直交補償電極(24)と駆動質量部(36)との間の信号誤差成分(78)、及び感知電極(28)と感知質量部(42)との間の信号誤差成分(76)を生成する。補償電極(24)及び感知電極(28)は、信号誤差成分(78)が信号誤差成分(76)を実質的に相殺するように逆の極性において結合される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
角速度センサであって、
基板と、
前記基板に柔軟に結合された駆動質量部と、
前記基板の上方に懸垂されるとともに可撓性支持要素を介して前記駆動質量部に柔軟に接続された感知質量部と、
前記駆動質量部に関連付けられた第1の電極と、
前記感知質量部に関連付けられた第2の電極と
を備え、該第2の電極は、前記第1の電極と前記駆動質量部との間の第1の誤差成分が、前記第2の電極と前記感知質量部との間の第2の誤差成分を実質的に相殺するように、前記第1の電極と逆の極性において電気的に結合されている、角速度センサ。
IPC (4件)：
G01C 19/571
, G01C 19/574
, H01L 29/84
, B81B 3/00
G01C19/56 212
, G01C19/56 247
, H01L29/84 Z
, B81B3/00
2F105AA02
, 2F105BB03
, 2F105BB05
, 2F105BB12
, 2F105CC04
, 2F105CD03
, 2F105CD05
, 3C081AA01
, 3C081BA32
, 3C081BA44
, 3C081BA47
, 3C081BA76
, 3C081CA02
, 3C081CA13
, 3C081EA02
, 4M112AA02
, 4M112BA07
, 4M112CA22
, 4M112CA24
, 4M112CA31
, 4M112CA34
, 4M112DA02
, 4M112DA15
, 4M112EA03
, 4M112EA04
, 4M112EA06
, 4M112EA07
, 4M112EA13
, 4M112FA01
