特許

J-GLOBAL ID：200903014617805134

回転数センサ

発明者： ウド-マーティン ゴメス ,  ラインハルト ノイル ,  ケルステン ケーア ,  マルコ ロチュニク
出願人/特許権者： ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング
代理人 (3件)： 矢野 敏雄 ,  アインゼル・フェリックス=ラインハルト ,  ラインハルト・アインゼル
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-518258
公開番号（公開出願番号）：特表2006-515928
出願日： 2004年08月13日
公開日（公表日）： 2006年06月08日
要約：

本発明は主請求項の上位概念の構成を有する回転数センサから出発する。本発明の回転数センサは力伝達手段を有する。本発明の要点は、この手段により伝達される力作用が、X軸に対して平行な駆動素子の振動周波数の整数倍である周波数を有することである。

請求項（抜粋）：

基板、駆動素子(1a,1b)およびコリオリ素子(2a,2b)を備える回転数センサであって、 該コリオリ素子は基板表面上に配置されており、 コリオリ素子(2a,2b)は、駆動素子(1a,1b)によって第1の軸(X)に対して平行に振動が励振され、 第1の軸(X)に対して実質的に垂直な第2の軸(Y)におけるコリオリ素子(2a,2b)の傾斜運動が検出され、 第1および第2の軸(X,Y)は基板の表面に対して平行であり、 力伝達手段(8,9,21,22)が設けられており、これによりダイナミックな力作用が基板とコリオリ素子(2a,2b)との間で伝達される形式の回転数センサにおいて、 前記手段(8,9,21,22)によって伝達された力作用は、第1の軸(X)に対して平行な駆動素子の振動周波数の整数倍である周波数を有する、ことを特徴とする回転数センサ。

IPC (3件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 29/84

FI (3件)：

G01C19/56 ,  G01P9/04 ,  H01L29/84 Z

Fターム (12件)：

2F105BB03 ,  2F105CC04 ,  2F105CD01 ,  2F105CD05 ,  2F105CD11 ,  2F105CD13 ,  4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA21 ,  4M112CA24 ,  4M112CA32 ,  4M112FA20

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 角速度検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-274025   出願人：株式会社村田製作所
• 角速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-327504   出願人：株式会社デンソー
• 角速度センサの自己診断方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-045035   出願人：日産自動車株式会社
• マイクロマシン加工デバイス
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2000-508958   出願人：アナログデバイセスインコーポレーテッド