水平に向けられた駆動電極を有するMEMSジャイロスコープ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：社本一夫 , 小野新次郎 , 小林泰 , 千葉昭男 , 富田博行 , 神田藤博
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-519278
公開番号（公開出願番号）：特表2008-505315
出願日： 2005年06月17日
公開日（公表日）： 2008年02月21日
要約：

MEMSジャイロスコープのレートバイアス誤差及びスケールファクタ誤差を減らすデバイス及び方法を開示する。本発明の例示的実施形態によるMEMSアクチュエータデバイスには、1つ又は複数の水平駆動電極(92、94、96、98、140)を含む少なくとも1つの基板(68、70)と、1つ又は複数の水平駆動電極(92、94、96、98、140)から垂直に間隔をあけられ、これに隣接する可動電極(64、66)とを含めることができる。水平駆動電極(92、94、96、98、140)及び/又は可動電極(64、66)は、デバイスの感知軸(72)の方向での可動電極(64、66)の変位から生じるレートバイアス誤差及びスケールファクタ誤差をなくすか減らすように構成することができる。

請求項（抜粋）：

MEMSアクチュエータデバイスであって、 1つ又は複数の水平駆動電極を含む少なくとも1つの基板と、前記1つ又は複数の水平駆動電極から垂直に間隔をあけられ、これに隣接する可動電極と、を含み、前記可動電極が、前記アクチュエータデバイスのモーター駆動軸に沿って水平に前後に振動するようにされる、MEMSアクチュエータデバイス。

IPC (4件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , B81B 3/00 , H02N 1/00

FI (4件)：

G01C19/56 , G01P9/04 , B81B3/00 , H02N1/00

Fターム (14件)：

2F105BB07 , 2F105BB08 , 2F105BB13 , 2F105CC04 , 2F105CC11 , 2F105CD03 , 2F105CD05 , 2F105CD13 , 3C081AA01 , 3C081BA07 , 3C081BA44 , 3C081BA48 , 3C081BA53 , 3C081EA01

引用特許：

審査官引用 (9件)

検出器
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-365724 出願人：株式会社豊田中央研究所
マイクロジャイロスコープ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-348971 出願人：三星電子株式会社, 韓國科學技術院
角速度センサ及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-037621 出願人：松下電器産業株式会社

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