特許
J-GLOBAL ID：201403073129187150
薄膜太陽電池光吸収層の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
あいわ特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-029334
公開番号（公開出願番号）：特開2014-078675
出願日： 2013年02月18日
公開日（公表日）： 2014年05月01日
要約：
【課題】薄膜太陽電池光吸収層の製造方法の提供。【解決手段】まず異なる有機金属源を入れた容器2において異なる有機金属源の蒸気を発生し、その後、これら有機金属源の蒸気と担体ガスを混合し、その他の反応ガスを管路を通して反応チャンバ3中に注入し、続いて、これら金属及び化合物が反応チャンバ3中の基板の上に堆積させて、薄膜太陽電池の光吸収層を形成する。そのうち、異なる有機金属源の蒸気の、反応チャンバ3への注入の流量は、それぞれ個別の流量コントローラー41により制御される。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
薄膜太陽電池光吸収層の製造方法において、
(1)複数の有機金属源の蒸気を、対応する該有機金属源を取り付けた複数の容器において発生させる、
(2)これら有機金属源の蒸気及び反応ガスを反応チャンバ中に注入する、
(3)これら有機金属源の蒸気及び該反応ガスを該反応チャンバ中の基板の上に堆積させ、薄膜太陽電池光吸収層を形成する、
以上のステップを包含し、そのうち、これら有機金属源の蒸気の該反応チャンバへの注入の流量に対して、各有機金属源の蒸気はそれぞれに対応する第1流量コントローラーによる制御を受けることを特徴とする、薄膜太陽電池光吸収層の製造方法。
IPC (3件)：
H01L 31/06
, C01G 19/00
, C23C 16/30
H01L31/04 E
, C01G19/00 A
, C23C16/30
4K030AA11
, 4K030AA18
, 4K030AA24
, 4K030BA16
, 4K030BA21
, 4K030BA50
, 4K030DA09
, 4K030EA01
, 4K030FA10
, 4K030JA05
, 4K030JA10
, 4K030LA16
, 5F151AA10
, 5F151CB12
, 5F151CB29
, 5F151CB30
