特許
J-GLOBAL ID：201103044554520864

導電性酸化亜鉛膜および導電性酸化亜鉛膜を備えた光電変換素子

発明者：
中村 誠吾

中村 誠吾 について

, 
大郷 毅

大郷 毅 について

, 
福永 敏明

福永 敏明 について


出願人/特許権者：
富士フイルム株式会社

富士フイルム株式会社 について


代理人 (2件)： 柳田 征史 ,  佐久間 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-123363
公開番号（公開出願番号）：特開2011-246787
出願日： 2010年05月28日
公開日（公表日）： 2011年12月08日
要約：
【課題】経時安定性の高い導電性酸化亜鉛膜を得る。【解決手段】B、Al、GaおよびInからなる群から選ばれる1つ以上の元素をドーパントとして含む導電性酸化亜鉛膜において、膜中に水素を含むものとし、その水素の含有量を3×1021 atoms/cm3以下とする。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
B、Al、GaおよびInからなる群から選ばれる1つ以上の元素をドーパントとして含む導電性酸化亜鉛膜であって、 膜中に水素を含み、該水素の含有量が3×1021 atoms/cm3以下であることを特徴とする導電性酸化亜鉛膜。
IPC (5件)：
C23C 16/40 ,  H01L 31/04 ,  H01B 5/14 ,  H01L 21/28 ,  H01L 21/285
FI (5件)：
C23C16/40 ,  H01L31/04 E ,  H01B5/14 A ,  H01L21/28 301R ,  H01L21/285 C
Fターム (36件)：
4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA49 ,  4K029BC09 ,  4K029CA05 ,  4K030AA01 ,  4K030AA11 ,  4K030AA17 ,  4K030AA18 ,  4K030AA20 ,  4K030BA47 ,  4K030CA06 ,  4K030FA10 ,  4K030JA06 ,  4K030JA10 ,  4K030LA16 ,  4M104AA03 ,  4M104BB13 ,  4M104BB16 ,  4M104BB18 ,  4M104BB36 ,  4M104BB39 ,  4M104DD43 ,  4M104DD45 ,  4M104GG04 ,  4M104HH20 ,  5F151AA10 ,  5F151CB12 ,  5F151CB29 ,  5F151DA07 ,  5F151FA02 ,  5F151FA06 ,  5F151FA08 ,  5F151GA03 ,  5G307FB01 ,  5G307FC02
引用特許：
審査官引用 (6件)
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