特許
J-GLOBAL ID：201403077187407948
測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
田村 敬二郎
, 小林 研一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-043638
公開番号（公開出願番号）：特開2014-173855
出願日： 2013年03月06日
公開日（公表日）： 2014年09月22日
要約：
【課題】センサの小シフトを導入して、長尺の試料の大シフトを不要にし、さらにはセンサが2本利用できるときには、センサのシフト前後の2回の走査測定を1回で済ませることができる測定方法を提供する。【解決手段】相対走査の際における被測定試料の走査運動方向の姿勢角(ピッチング)の移動方向全長の両端での差を姿勢センサで測定して、その出力値と、第1〜第3変位センサの出力とに基づいて、被測定試料の走査の際の姿勢変化を補正しつつ、被測定試料の真直形状を求めるので、被測定試料の大きなシフトは不要になり、コンパクトな測定装置で高精度な測定を実現できる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
変位センサと長尺物体とを、走査方向に相対移動させて前記変位センサからの出力値を得ることにより相対走査を行い、前記長尺物体の真直形状を測定する測定方法であって、
前記変位センサで、前記長尺物体の被測定面を測定して第1の出力値を得て、更に前記変位センサを前記走査方向に前記間隔dだけシフトして、前記長尺物体の被測定面を測定し、第2の出力値を得て(第1工程)、
前記長尺物体を前記変位センサに対して前記走査方向に前記間隔dだけシフトして、前記変位センサで、前記長尺物体の被測定面を測定して第3の出力値を得て(第2工程)、
前記相対走査の際における、前記変位センサと前記長尺物体との移動する方の走査運動方向の姿勢角(ピッチング)の移動方向全長の両端での差を姿勢センサで測定して、その出力値と、前記第1〜第3の出力値とに基づいて、前記長尺物体の相対走査の際の姿勢変化を補正しつつ、前記長尺物体の真直形状を求める(第3工程)ことを特徴とする測定方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (11件)：
2F069AA55
, 2F069AA77
, 2F069AA93
, 2F069BB13
, 2F069BB15
, 2F069BB34
, 2F069GG59
, 2F069HH09
, 2F069JJ13
, 2F069MM34
, 2F069NN16
