特許
J-GLOBAL ID:200903081892038096

被加工物の真直度測定方法およびワークの平面研削方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-156801
公開番号(公開出願番号):特開2007-327754
出願日: 2006年06月06日
公開日(公表日): 2007年12月20日
要約:
【課題】 工作機械のワークテーブル上で変位計を用いて測定した加工ワークの真直度の値に、変位計やテーブルの走査運動誤差が影響しない真直度の測定方法。【解決手段】 測定範囲、感度、分解能も同種の2つの変位計A,Bを用い、標準直定規に対してレバー式自律校正法で校正された変位計A,Bの両方をピッチ距離p間離して工作機械の工具頭に固定し、前記変位計A,Bを用いて前記工作機械のワークテーブル上に載置された被加工物の変位高さを検出し、変位計A,B検出の変位高さの差をピッチpで割った値を積分して変位計Aにより検出された変位グラフとして出力し、被加工物の真直度を導く。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
測定範囲、感度、分解能も同種の2つの変位計A,Bを用い、標準直定規に対してレバー式自律校正法で校正された変位計A,Bの両方をピッチ距離p間離して工作機械の工具頭に変位計A,Bの列がワークテーブルの長手方向に向くよう距離p離して支持し、次の工程を経て被加工物の真直度を測定する方法。 1)ワークテーブルおよび変位計A,Bの相対的な移動により前記ワークテーブル上に固定された標準直定規表面と各変位計A,Bプロ-ブ間の距離SA(Xi),SB(Xi+p)を検出し、メモリーで記録する。 2)演算部で両者の差{SB(Xi+p)-SA(Xi)}を演算し、被加工物の基準面と非接触型静電容量型変位計Aのプローブ電極間の距離をZ0A、被加工物の基準面と非接触型静電容量型変位計Bのプローブ電極間の距離Z0Bと仮定したときの距離Z0Bと距離Z0Aの差(Z0B-Z0A)としてメモリーに記憶する。 3)前記変位計A,Bを用いて前記ワークテーブル上の被加工物表面と各変位計A,Bのプローブ間の距離m1(Xi)およびm2(Xi+p)を検出し、メモリーする。 4)これら検出値の差m2d(Xi)=〔m2(Xi+p)-m1(Xi)〕を演算し、メモリーする。 5)m2d(Xi)/pを求める式に{SB(Xi+p)-SA(Xi)}を代入する演算を行い、このm2d(Xi)/pを被加工物表面の高さ変位函数f(X)の微分値df(X)/dXとして近似させ、次式で表される微分値を検出されていった各値よりこの導関数を積分していくとともに、メモリーに記録する。 df(X)/dX≒〔f(Xi+p)-f(Xi)〕/p+{SB(Xi+p)-SA(Xi)}/p 6)前式の導関数を積分した変位函数f(X)を、変位計Aにより計測された被加工物表面の真直度変位グラフとして出力するか、そのf(X)値の最大ピ-ク値を被加工物の真直度Saとして出力する。
IPC (1件):
G01B 7/34
FI (1件):
G01B7/34 101
Fターム (6件):
2F063AA44 ,  2F063BA21 ,  2F063DA01 ,  2F063DA05 ,  2F063DD03 ,  2F063HA04
引用特許:
出願人引用 (14件)
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審査官引用 (12件)
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引用文献:
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