特許
J-GLOBAL ID：201403079032694501
光導波路及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
大谷 保
, 平澤 賢一
, 佐藤 玲太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-209967
公開番号（公開出願番号）：特開2014-066750
出願日： 2012年09月24日
公開日（公表日）： 2014年04月17日
要約：
【課題】厚み方向にテーパーを有するコアパターンの厚みの薄い部分の位置を認識することが容易なテーパー付きの光導波路及びその製造方法を提供する。【解決手段】光導波路100は、下部クラッド層21と、下部クラッド層21に積層され、光信号が伝搬するコア部の一例であるコア層22と、下部クラッド層21において、コア部とは反対の面側に、形成された突起部60とを備える。コア部において突起部60の近傍の部分である突起部近傍部分の厚みは薄い。コア部は、コア部において、突起部近傍部分から光信号が伝搬する伝搬方向に進むにつれて、コア部の厚みが厚くなる厚みテーパー部22cを有する。光導波路100の製造方法は、突起部60を形成する突起部形成工程の後に、コア部を形成するコア部形成工程を行う際に、突起部近傍部分の厚みが薄くなるように、突起部60を押し込む押込工程を含む。押込工程は、コア部形成工程と同時に又はその後に行なわれる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
下部クラッド層と、
前記下部クラッド層に積層され、光信号が伝搬するコア部と、
前記下部クラッド層において、前記コア部とは反対の面側に、形成された突起部とを備え、
前記コア部において前記突起部の近傍の部分である突起部近傍部分の厚みは薄く、
前記コア部は、前記コア部において、前記突起部近傍部分から光信号が伝搬する伝搬方向に進むにつれて、前記コア部の厚みが厚くなる厚みテーパー部を有する、光導波路。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (22件)：
2H147AB04
, 2H147AB05
, 2H147BD10
, 2H147BG02
, 2H147BG05
, 2H147BG17
, 2H147CA13
, 2H147CB04
, 2H147CB06
, 2H147CD02
, 2H147EA10C
, 2H147EA14C
, 2H147EA16A
, 2H147EA16B
, 2H147EA16C
, 2H147EA17B
, 2H147EA20C
, 2H147EA44B
, 2H147FC08
, 2H147FC09
, 2H147FD15
, 2H147FF04
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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