検査方法及び検査装置

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：服部毅巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-139509
公開番号（公開出願番号）：特開2014-002125
出願日： 2012年06月21日
公開日（公表日）： 2014年01月09日
要約：

【課題】被検査体の各種欠陥を精度良く検出する。【解決手段】輝度が周期的に変化する光を照射して被検査体の画像を撮像し(ステップS1)、撮像された画像からその周期的な輝度変化を取得する(ステップS2)。そして、取得された輝度変化の振幅値、平均値、下限値及び位相値を算出し(ステップS3)、算出された振幅値、平均値、下限値及び位相値を用いて被検査体の欠陥を検出する(ステップS4)。振幅値、平均値、下限値及び位相値を用いることで、被検査体の各種欠陥を精度良く検出する。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

被検査体に、輝度が周期的に変化する光を照射して、前記被検査体の画像を撮像する工程と、撮像された前記画像から、前記画像の周期的な輝度変化を取得する工程と、取得された前記輝度変化の振幅値、平均値、下限値及び位相値を算出する工程と、算出された前記振幅値、前記平均値、前記下限値及び前記位相値を用いて、前記被検査体の欠陥を検出する工程とを含むことを特徴とする検査方法。

IPC (1件)：

G01N 21/88

FI (1件)：

G01N21/88 J

Fターム (14件)：

2G051AA90 , 2G051AB01 , 2G051AB02 , 2G051AB12 , 2G051BA20 , 2G051BB01 , 2G051CA04 , 2G051CA06 , 2G051CB01 , 2G051EA08 , 2G051EA16 , 2G051EA30 , 2G051EB01 , 2G051EC03

引用特許：

審査官引用 (4件)

被検物の欠点検査方法および検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-115543 出願人：旭硝子株式会社
表面欠陥検査装置及び表面欠陥検査方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-003375 出願人：倉敷紡績株式会社, 丸紅テクノシステム株式会社, 株式会社アキュイティ
外観検査装置及び外観検査方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-197946 出願人：株式会社サキコーポレーション

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