外力検出装置及び外力検出センサー

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：井上俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-196458
公開番号（公開出願番号）：特開2014-052263
出願日： 2012年09月06日
公開日（公表日）： 2014年03月20日
要約：

【課題】圧電板に加わる外力を簡易な構造で高精度に検出することができる外力検出装置及び外力検出センサーを提供すること。【解決手段】圧電板に外力が加わって撓むとあるいは撓みの程度が変わると、圧電板側の可動電極5とこの可動電極5に対向する固定電極6との間の距離が変わる。このため両電極5、6間の容量が変わり、この容量変化と圧電板の撓みの度合とを圧電板の発振周波数の変化として捉えている。圧電片の僅かな変形も発振周波数の変化として検出できるので、圧電片に加わる外力を高精度に測定することができ、しかも装置構成が簡素である。また圧電板に外力が加えられたときに撓む部位、あるいは、当該部位と対向する容器側の部位に導電体8を設けているため、圧電板が静電引力により容器1側に引き込まれる虞がないため安定した測定ができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

圧電板に作用する外力を検出する外力検出装置であって、絶縁体からなる容器と、前記圧電板を前記容器内にて支持するための支持部と、前記圧電板を振動させるために、当該圧電板の一面側及び他面側に夫々設けられた一方の励振電極及び他方の励振電極と、前記一方の励振電極に電気的に接続された発振回路と、前記圧電板の支持部から離れた位置に設けられ、前記他方の励振電極に電気的に接続された可変容量形成用の可動電極と、前記圧電板とは離間して、前記可動電極に対向するように設けられると共に前記発振回路に接続され、圧電板の撓みにより前記可動電極との間の容量が変化してこれにより可変容量を形成する固定電極と、前記発振回路の発振周波数に対応する周波数情報である信号を検出するための周波数情報検出部と、前記圧電板における前記可動電極とは反対側の面であって、外力により撓む部位と、当該部位と対向する部位と、の少なくとも一方に設けられた導電体と、を備え、前記発振回路から一方の励振電極、他方の励振電極、可動電極及び固定電極を経て発振回路に戻る発振ループが形成され、前記周波数情報検出部にて検出された周波数情報は、圧電板に作用する外力を評価するためのものであることを特徴とする外力検出装置。

IPC (4件)：

G01P 15/10 , H01L 41/08 , H01L 41/18 , H01L 41/09

FI (4件)：

G01P15/10 , H01L41/08 Z , H01L41/18 101A , H01L41/08 C

引用特許：

審査官引用 (5件)

半導体物理量センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-165463 出願人：パナソニック電工株式会社
特開平4-299267
圧電発振素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-215322 出願人：キンセキ株式会社

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