特許
J-GLOBAL ID：201403086223149020

半導体装置

発明者：
藤塚 徳夫

藤塚 徳夫 について

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尾崎 貴志

尾崎 貴志 について

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島岡 敬一

島岡 敬一 について

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野々村 裕

野々村 裕 について


出願人/特許権者：
株式会社豊田中央研究所

株式会社豊田中央研究所 について


代理人 (1件)： 特許業務法人快友国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-097066
公開番号（公開出願番号）：特開2013-253999
出願日： 2012年04月20日
公開日（公表日）： 2013年12月19日
要約：
【課題】 本明細書では、基板と、基板に対して相対的に傾動可能な傾動板を備える半導体装置において、傾動板の反りを効果的に抑制することが可能な技術を提供する。【解決手段】 本明細書が開示する半導体装置は、基板と、基板に対して相対的に傾動可能な傾動板を備えている。その半導体装置では、傾動板に、板厚が略一様な凹凸部からなるリブが形成されている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板と、基板に対して相対的に傾動可能な傾動板を備える半導体装置であって、 傾動板に、板厚が略一様な凹凸部からなるリブが形成されている半導体装置。
IPC (2件)：
G02B 26/10 ,  B81B 3/00
FI (2件)：
G02B26/10 104Z ,  B81B3/00
Fターム (10件)：
2H045AB02 ,  2H045AB73 ,  3C081BA28 ,  3C081BA44 ,  3C081BA47 ,  3C081BA53 ,  3C081CA03 ,  3C081CA28 ,  3C081CA40 ,  3C081EA08
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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