特許
J-GLOBAL ID：201103056466921695

ファブリペロー干渉計

発明者：
鈴木 愛美

鈴木 愛美 について

, 
和戸 弘幸

和戸 弘幸 について


出願人/特許権者：
株式会社デンソー

株式会社デンソー について


代理人 (3件)： 矢作 和行 ,  野々部 泰平 ,  久保 貴則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-175680
公開番号（公開出願番号）：特開2011-028119
出願日： 2009年07月28日
公開日（公表日）： 2011年02月10日
要約：
【課題】光の透過範囲を制限する金属層を基板に設けることなく、透過波長の半値巾(FWHM)の小さなファブリペロー干渉計を提供する。【解決手段】第1ミラー構造体と第2ミラー構造体とのギャップを介した対向部位のうち、第1ミラー及び第2ミラーの形成された中央領域を取り囲む周辺領域全域が、分光帯域の光を反射する反射領域とされている。そして、反射領域における垂直方向の任意位置において、第1ミラー構造体では、第1ミラーと同一の光学多層膜構造を有する反射ミラーが形成され、第2ミラー構造体では、高屈折率層同士が接してなる部分となっている。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
基板の一面上に配置された第1ミラー構造体と、ギャップを介して前記第1ミラー構造体上に対向配置され、前記ギャップを架橋する部位がメンブレンとされた第2ミラー構造体と、を備え、 前記ギャップを介した対向部位として、 前記第1ミラー構造体は、第1ミラーと、第1電極とを有し、 前記第2ミラー構造体は、前記第1ミラーに対向する第2ミラーと、前記第1電極に対向する第2電極とを有し、 前記第1電極と前記第2電極の間に印加された電圧に基づいて生じる静電気力により、前記ギャップが変化され、前記ギャップにおける前記第1ミラーと前記第2ミラーとの対向距離に応じた波長の光を選択的に透過させるファブリペロー干渉計であって、 前記第1ミラー構造体と前記第2ミラー構造体との対向部位のうち、前記第1ミラー及び前記第2ミラーの形成された中央領域を除く領域である周辺領域の全域が、前記第1ミラーと前記第2ミラーの対向部位により選択的に透過できる帯域の光を反射する反射領域とされ、 前記反射領域では、前記ギャップが変化する方向に垂直な垂直方向の任意位置において、前記第1ミラー構造体及び前記第2ミラー構造体の一方のみに、同一の反射率及び反射帯域を有する反射ミラーが形成されていることを特徴とするファブリペロー干渉計。
IPC (3件)：
G02B 26/00 ,  G02B 5/28 ,  G01N 21/27
FI (3件)：
G02B26/00 ,  G02B5/28 ,  G01N21/27 Z
Fターム (23件)：
2G059EE10 ,  2G059HH01 ,  2G059HH02 ,  2G059JJ13 ,  2H048GA13 ,  2H048GA48 ,  2H141MA21 ,  2H141MA29 ,  2H141MB28 ,  2H141MB52 ,  2H141MB56 ,  2H141MB63 ,  2H141MC06 ,  2H141MD02 ,  2H141MD04 ,  2H141MD32 ,  2H141MD38 ,  2H141MF26 ,  2H141MF30 ,  2H141MG10 ,  2H141MZ16 ,  2H141MZ20 ,  2H141MZ25
引用特許：
出願人引用 (3件)

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