特許
J-GLOBAL ID：201103039045624010

電気機械変換器、空間光変調器、露光装置およびそれらの製造方法

発明者：
鈴木 美彦

鈴木 美彦 について

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小西 浩

小西 浩 について

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鈴木 純児

鈴木 純児 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 龍華国際特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-297369
公開番号（公開出願番号）：特開2011-138888
出願日： 2009年12月28日
公開日（公表日）： 2011年07月14日
要約：
【課題】電気機械変換器の特性を長期間にわたって安定させる。【解決手段】電極を有する基板と、基板に対して一端を固定されて弾性変形する基板側捩じり軸部と、基板側捩じり軸部の他端に支持され、静電力により電極に引き付けられて基板に対して揺動する可動部と可動部の一面と交差する面を有して可動部と一体的に配され、可動部に対する曲げ応力に対抗する構造材とを備える。上記電気機械変換器において、捩じり軸部は、可動部と一体をなしてもよい。また、上記電気機械変換器において、捩じり軸部の他端に支持され、静電力により基板上の電極に引き付けられて基板に対して揺動する枠体と、一端を枠体に固定され、他端において可動部を支持する枠側捩じり軸部とを更に備え、可動部は、枠体に対しても揺動してもよい。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
電極を有する基板と、 前記基板に対して一端を固定されて弾性変形する基板側捩じり軸部と、 前記基板側捩じり軸部の他端に支持され、静電力により前記電極に引き付けられて前記基板に対して揺動する可動部と 前記可動部の一面と交差する面を有して前記可動部と一体的に配され、前記可動部に対する曲げ応力に対抗する構造材と を備えた電気機械変換器。
IPC (6件)：
H01L 21/027 ,  G02B 5/04 ,  G02B 26/08 ,  G02B 26/02 ,  B81B 3/00 ,  B81C 1/00
FI (6件)：
H01L21/30 515D ,  G02B5/04 ,  G02B26/08 E ,  G02B26/02 E ,  B81B3/00 ,  B81C1/00
Fターム (44件)：
2H042CA01 ,  2H042CA17 ,  2H141MA07 ,  2H141MA08 ,  2H141MA13 ,  2H141MB24 ,  2H141MB63 ,  2H141MC06 ,  2H141MD12 ,  2H141MD13 ,  2H141MD16 ,  2H141ME01 ,  2H141ME09 ,  2H141ME29 ,  2H141MF08 ,  2H141MG03 ,  2H141MG08 ,  2H141MZ06 ,  2H141MZ19 ,  2H141MZ20 ,  2H141MZ25 ,  2H141MZ29 ,  3C081AA07 ,  3C081BA01 ,  3C081BA28 ,  3C081BA44 ,  3C081BA46 ,  3C081BA47 ,  3C081BA53 ,  3C081BA72 ,  3C081CA03 ,  3C081CA14 ,  3C081CA15 ,  3C081CA27 ,  3C081CA29 ,  3C081CA30 ,  3C081DA02 ,  3C081DA07 ,  3C081DA24 ,  3C081DA27 ,  3C081DA30 ,  3C081EA08 ,  5F046CB18 ,  5F146CB33
引用特許：
審査官引用 (6件)
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