特許
J-GLOBAL ID：201403087274482331

樹脂組成物、パターン化樹脂膜の製造方法、重合体および半導体装置

発明者：
西村 功

西村 功 について


出願人/特許権者：
JSR株式会社

JSR株式会社 について


代理人 (1件)： 特許業務法人SSINPAT
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-152411
公開番号（公開出願番号）：特開2014-015507
出願日： 2012年07月06日
公開日（公表日）： 2014年01月30日
要約：
【課題】アルカリ易溶の塗膜を形成することが可能であり、しかもこの塗膜の加熱処理後には線膨張率が低いイミド化膜を形成することが可能な樹脂組成物を提供する。【解決手段】(A)式(1)で表される構造単位を有する重合体と、(B)溶剤とを含有する樹脂組成物。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
(A)式(1)で表される構造単位を有する重合体と、 (B)溶剤と を含有する樹脂組成物。
IPC (5件)：
C08L 79/08 ,  G03F 7/023 ,  G03F 7/11 ,  C08G 73/10 ,  H01L 21/027
FI (6件)：
C08L79/08 A ,  G03F7/023 ,  G03F7/11 503 ,  G03F7/11 502 ,  C08G73/10 ,  H01L21/30 502R
Fターム (49件)：
2H125AE03P ,  2H125AF05P ,  2H125AF57P ,  2H125AM74N ,  2H125AM74P ,  2H125AM76N ,  2H125AM76P ,  2H125AM86N ,  2H125AM86P ,  2H125AN42N ,  2H125AN42P ,  2H125AN84N ,  2H125AN84P ,  2H125BA01N ,  2H125BA01P ,  2H125BA05N ,  2H125BA05P ,  2H125BA33N ,  2H125BA33P ,  2H125CA12 ,  2H125CB05 ,  2H125CC01 ,  2H125CC03 ,  2H125CC17 ,  2H125CC21 ,  4J002CM041 ,  4J002GP03 ,  4J002HA05 ,  4J043PA04 ,  4J043QB15 ,  4J043QB31 ,  4J043RA06 ,  4J043RA35 ,  4J043SA06 ,  4J043SA71 ,  4J043SA85 ,  4J043SB03 ,  4J043TA22 ,  4J043TB03 ,  4J043UA122 ,  4J043UA132 ,  4J043UA151 ,  4J043UB122 ,  4J043UB231 ,  4J043VA011 ,  4J043VA012 ,  4J043WA09 ,  4J043XA16 ,  4J043ZB22
引用特許：
出願人引用 (4件)
全件表示
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM