特許

J-GLOBAL ID：200903021971497680

ポリイミド前駆体及びそれを用いた感光性樹脂組成物

発明者： 岡田 好史
出願人/特許権者： 鐘淵化学工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-163472
公開番号（公開出願番号）：特開2002-356555
出願日： 2001年05月30日
公開日（公表日）： 2002年12月13日
要約：

【要約】【課題】 保存安定性に問題のあるポリアミド酸を用いず、側鎖に吸水性の水酸基・カルボキシル基を持たない最終的なイミド組成物を供することができる新規ポリイミド前駆体及びそれを用いた新規感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。【解決手段】 ポリアミド酸部位がt-ブチルエステル化されたポリアミド単位を有するポリイミド前駆体を提供する。好ましくは該ポリイミド前駆体は、ポリイミド単位を有しており、これらの単位は同一分子内に混在していても良いし、或いはポリアミド酸部位がt-ブチルエステル化されたポリアミドと、ポリイミドを混合しても良い。本発明のポリイミド前駆体は、光酸発生剤と混合してポジ型の感光性樹脂組成物とすることができ、ポジ型のエッチングレジスト等に好適に用いられる。

請求項（抜粋）：

下記一般式(1)で表される単位と、【化1】(一般式(1)中、R1は4価の有機基、R2は2価の有機基を表す。R1、R2は、一般式(1)の単位間で同一または異なる。)下記一般式(2)で表される単位を有する、ポリイミド前駆体。【化2】(一般式(2)中、R3は4価の有機基、R4は2価の有機基を表す。R3、R4は、一般式(2)の単位間で同一または異なる。)

IPC (4件)：

C08G 73/10 ,  G03F 7/037 501 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

C08G 73/10 ,  G03F 7/037 501 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (87件)：

2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA04 ,  2H025AA10 ,  2H025AA11 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025BJ10 ,  2H025CB25 ,  2H025CB41 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  4J043PA09 ,  4J043PA19 ,  4J043PC015 ,  4J043QB25 ,  4J043QB26 ,  4J043QB31 ,  4J043RA06 ,  4J043RA35 ,  4J043SA06 ,  4J043SA43 ,  4J043SA52 ,  4J043SA54 ,  4J043SA55 ,  4J043SA72 ,  4J043TA12 ,  4J043TA14 ,  4J043TA22 ,  4J043TA32 ,  4J043TA67 ,  4J043TA71 ,  4J043TB03 ,  4J043UA022 ,  4J043UA032 ,  4J043UA041 ,  4J043UA081 ,  4J043UA082 ,  4J043UA121 ,  4J043UA122 ,  4J043UA131 ,  4J043UA132 ,  4J043UA141 ,  4J043UA151 ,  4J043UA152 ,  4J043UA231 ,  4J043UA261 ,  4J043UA262 ,  4J043UA622 ,  4J043UA672 ,  4J043UA711 ,  4J043UA761 ,  4J043UA762 ,  4J043UB022 ,  4J043UB061 ,  4J043UB062 ,  4J043UB121 ,  4J043UB122 ,  4J043UB131 ,  4J043UB132 ,  4J043UB152 ,  4J043UB221 ,  4J043UB291 ,  4J043UB292 ,  4J043UB302 ,  4J043UB312 ,  4J043UB382 ,  4J043UB401 ,  4J043UB402 ,  4J043VA011 ,  4J043VA021 ,  4J043VA022 ,  4J043VA032 ,  4J043VA041 ,  4J043VA051 ,  4J043VA061 ,  4J043VA062 ,  4J043VA081 ,  4J043XA16 ,  4J043XA19 ,  4J043XB36 ,  4J043YA08 ,  4J043ZB22

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 耐熱性樹脂組成物およびこれを用いた半導体装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-227813   出願人：東レ株式会社
• 耐熱性感光性重合体組成物及びパターンの製造法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-246813   出願人：日立化成工業株式会社
• ポリイミド系共重合体の製造方法、薄膜形成剤、並びに液晶配向膜およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-032875   出願人：日本合成ゴム株式会社
• ポジ型感光性ポリイミド前駆体樹脂組成物及びこれを用いたレリーフパターンの製造法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-318081   出願人：日立化成工業株式会社
• 特開平4-120171