特許

J-GLOBAL ID：201403090057859193

真空ゲート弁

発明者： トーマス ブレヒャ
出願人/特許権者： バット ホールディング アーゲー
代理人 (2件)： アインゼル・フェリックス=ラインハルト ,  久野 琢也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-272305
公開番号（公開出願番号）：特開2014-129879
出願日： 2013年12月27日
公開日（公表日）： 2014年07月10日
要約：

【課題】単純に構成された駆動部と、真空領域内の僅かな粒子発生と、シールの僅かな摩耗と、高い耐荷重性と、良好なメンテナンス性とにより優れている真空ゲート弁を提供する。【解決手段】真空領域(11)の外側に配置された駆動ユニット(7)を有する真空ゲート弁に関する。駆動ユニットは、閉鎖プレート(4)を弁ロッド(6)により開放位置(O)から中間位置(I)へ、かつ中間位置(I)から閉鎖位置(C)へ移動可能である。弁ロッドは、ガイド(22)により長手方向軸線(8)および横方向軸線(9)に対して平行にガイドされる移動部分(14)に結合され、駆動ユニット(7)は、調節部材(16)を有するリニアアクチュエータ(15)を有している。調節部材(16)と移動部分とは斜面結合部を介して連結され、移動部分には長手方向の閉鎖方向(z)に対して斜めに向けられた力が作用させられる。【選択図】図1a

請求項（抜粋）：

開口(2)と、該開口(2)を取り囲んで延びる弁座(3)とを有する弁壁部(1)と、 前記開口(2)をほぼ気密に閉鎖する閉鎖面(5)を備えた閉鎖プレート(4)と、 前記閉鎖プレート(4)を支持する少なくとも1つの弁ロッド(6)と、 前記少なくとも1つの弁ロッド(6)に連結された駆動ユニット(7)と、 が設けられた真空ゲート弁であって、 前記駆動ユニット(7)は、以下のように形成されている、すなわち 前記閉鎖プレート(4)が、 ほぼ幾何学的な長手方向軸線(8)に沿った、長手方向の閉鎖方向(z)への前記少なくとも1つの弁ロッド(6)の移動により、 前記閉鎖プレート(4)が前記開口(2)を開放している開放位置(O)から、 前記閉鎖プレート(4)が前記開口(2)を覆い、かつ前記閉鎖面(5)が前記弁座(3)に対して間隔を置いた対向位置に位置している中間位置(I)へ、かつ ほぼ前記長手方向軸線(8)に対して直角に延びる幾何学的な横方向軸線(9)に沿った、横方向の閉鎖方向(y)への前記少なくとも1つの弁ロッド(6)の移動により、 前記中間位置(I)から、 前記閉鎖プレート(4)の前記閉鎖面(5)が前記弁座(3)に対してほぼ垂直に押し当てられていて、前記開口(2)をほぼ気密に閉鎖している閉鎖位置(C)へと移動可能であり、かつ戻るように移動可能であるようになっており、 弁ケーシング(10)が設けられており、該弁ケーシング(10)は、前記開口(2)、前記弁座(3)および前記閉鎖プレート(4)が配置されている真空領域(11)を備え、前記少なくとも1つの弁ロッド(6)は、前記弁ケーシング(10)の少なくとも1つの気密な貫通部(13)を通って、前記真空領域(11)から、該真空領域(11)の外側に位置する駆動領域(12)へ、前記長手方向軸線(8)および前記横方向軸線(9)に沿って運動可能であるように貫通ガイドされており、前記駆動領域(12)内に前記駆動ユニット(7)が配置されている、真空ゲート弁において、 前記少なくとも1つの弁ロッド(6)は、前記駆動ユニット(7)の、前記駆動領域(12)内に配置された移動部分(14)に固定的に結合されており、 前記駆動ユニット(7)のガイド(22)によって前記駆動領域(12)内で、前記移動部分(14)は、 前記閉鎖プレート(4)が前記開放位置(O)に位置している第1の位置(PO)と、前記閉鎖プレート(4)が前記中間位置(I)に位置している第2の位置(PI)との間では、前記長手方向軸線(8)に対して平行に旋回不能にガイドされて、かつ前記長手方向軸線(8)に沿って移動可能であり、前記ガイド(22)は、前記長手方向の閉鎖方向(z)への前記移動部分(14)のさらなる移動を、前記第2の位置(PI)への到達時にブロックしており、かつ 前記第2の位置(PI)と、前記閉鎖プレート(4)が前記閉鎖位置(C)に位置している第3の位置(PC)との間では、前記横方向軸線(9)に対して平行に旋回不能にガイドされて、かつ前記横方向軸線(9)に沿って移動可能であり、 前記駆動ユニット(7)は、前記長手方向軸線(8)に対して平行に直線的に移動可能な調節部材(16)を備えたリニアアクチュエータ(15)を有しており、 前記調節部材(16)は、前記移動部分(14)に、傾斜結合部(17a;17b)を介して機械的に連結されていて、 前記調節部材(16)は、前記長手方向の閉鎖方向(z)への直線移動時に、前記長手方向の閉鎖方向(z)に対して斜めに向けられた力を、前記移動部分(14)に、前記長手方向の閉鎖方向(z)の力成分および前記横方向の閉鎖方向(z)の力成分を以て、前記移動部分(14)を前記第1の位置(PO)から前記第2の位置(PI)へ、かつ前記第2の位置(PI)から前記第3の位置(PC)へ移動させるために作用させ、 前記長手方向の閉鎖方向(z)への前記調節部材(16)の直線移動により、前記移動部分(14)が前記第2の位置(PI)において長手方向の閉鎖方向(z)でブロックされている場合に、前記移動部分(14)の、前記横方向の閉鎖方向(y)での第3の位置(PC)への移動が行われる、ことを特徴とする、真空ゲート弁。

IPC (2件)：

F16K 3/18 ,  F16K 51/02

FI (2件)：

F16K3/18 D ,  F16K51/02 B

Fターム (10件)：

3H053AA22 ,  3H053AA25 ,  3H053AA31 ,  3H053AA35 ,  3H053BA22 ,  3H053BD03 ,  3H053DA09 ,  3H066AA03 ,  3H066BA12 ,  3H066BA17

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 無摺動ゲート弁
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-159343   出願人：入江工研株式会社
• 真空バルブの制御方法
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2010-517233   出願人：バットホールディングアーゲー