特許
J-GLOBAL ID:201403090334974744

粒子検出システム及び粒子検出方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件): 稲葉 良幸 ,  大貫 敏史 ,  江口 昭彦 ,  内藤 和彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-024635
公開番号(公開出願番号):特開2014-153258
出願日: 2013年02月12日
公開日(公表日): 2014年08月25日
要約:
【課題】一台の粒子検出装置で複数箇所からサンプリングした粒子を検出可能な粒子検出システムを提供する。【解決手段】気体に含まれる粒子に光を照射して発生する散乱光及び蛍光の少なくとも一方を検出する気中粒子検出装置100と、検査対象気体に含まれる粒子を気中粒子検出装置100に導入するための気体検査用流路300aと、検査対象液体510からエアロゾルを生成するエアロゾル生成部200と、エアロゾルに含まれる粒子を気中粒子検出装置100に導入するための液体検査用流路300cと、を備える粒子検出システム。【選択図】図1
請求項(抜粋):
気体に含まれる粒子に光を照射して発生する散乱光及び蛍光の少なくとも一方を検出する気中粒子検出装置と、 検査対象気体に含まれる粒子を前記気中粒子検出装置に導入するための気体検査用流路と、 検査対象液体からエアロゾルを生成するエアロゾル生成部と、 前記エアロゾルに含まれる粒子を前記気中粒子検出装置に導入するための液体検査用流路と、 を備える、粒子検出システム。
IPC (1件):
G01N 15/14
FI (1件):
G01N15/14 D
引用特許:
審査官引用 (2件)

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