特許
J-GLOBAL ID：201403091424222560

感光性樹脂組成物及び感光性樹脂積層体

発明者：
松田 隆之

松田 隆之 について

, 
小坂 隼也

小坂 隼也 について


出願人/特許権者：
旭化成イーマテリアルズ株式会社

旭化成イーマテリアルズ株式会社 について


代理人 (6件)： 青木 篤 ,  石田 敬 ,  古賀 哲次 ,  中村 和広 ,  齋藤 都子 ,  三間 俊介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-147428
公開番号（公開出願番号）：特開2014-010333
出願日： 2012年06月29日
公開日（公表日）： 2014年01月20日
要約：
【課題】感度、解像性、現像液分散性及び色相安定性に優れた感光性樹脂組成物から形成された感光性樹脂積層体、並びに該感光性樹脂積層体を用いたレジストパターンの形成方法及び導体パターンの形成方法の提供。【解決手段】10質量%〜90質量%の(A)アルカリ可溶性高分子;5質量%〜70質量%の(B)エチレン性二重結合を有する化合物;0.01質量%〜20質量%の(C)光重合開始剤;及び0.001質量%〜10質量%の(D)ヒンダードフェノールを含む感光性樹脂組成物であって、該(A)アルカリ可溶性高分子の酸当量は、100〜600であり、かつ重量平均分子量は5,000〜500,000であり、そして該(C)光重合開始剤としてアクリジン化合物を含む前記感光性樹脂組成物。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
以下の: (A)アルカリ可溶性高分子:10質量%〜90質量%; (B)エチレン性二重結合を有する化合物:5質量%〜70質量%; (C)光重合開始剤:0.01質量%〜20質量%;及び (D)ヒンダードフェノール:0.001質量%〜10質量%; を含む感光性樹脂組成物であって、該(A)アルカリ可溶性高分子の酸当量は、100〜600であり、かつ重量平均分子量は5,000〜500,000であり、そして該(C)光重合開始剤としてアクリジン化合物を含む前記感光性樹脂組成物。
IPC (6件)：
G03F 7/004 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/031 ,  H05K 3/06 ,  H05K 3/18 ,  H01L 21/027
FI (7件)：
G03F7/004 501 ,  G03F7/033 ,  G03F7/031 ,  G03F7/004 512 ,  H05K3/06 H ,  H05K3/18 D ,  H01L21/30 502R
Fターム (55件)：
2H125AC33 ,  2H125AC57 ,  2H125AC63 ,  2H125AD00 ,  2H125AD09 ,  2H125AD14 ,  2H125AD24 ,  2H125AE15P ,  2H125AM13P ,  2H125AM23P ,  2H125AM32P ,  2H125AN03P ,  2H125AN23P ,  2H125AN37P ,  2H125AN66P ,  2H125AN75P ,  2H125AN80P ,  2H125AN87P ,  2H125BA04P ,  2H125BA09P ,  2H125BA17P ,  2H125BA18P ,  2H125CA13 ,  2H125CB04 ,  2H125CC01 ,  2H125CC13 ,  2H125CD05P ,  2H125CD08P ,  2H125CD38 ,  5E339AD01 ,  5E339AD03 ,  5E339AD05 ,  5E339BC01 ,  5E339BD05 ,  5E339BE11 ,  5E339CC01 ,  5E339CC02 ,  5E339CE11 ,  5E339CE16 ,  5E339CF01 ,  5E339CF15 ,  5E339DD04 ,  5E339GG10 ,  5E343AA02 ,  5E343AA11 ,  5E343BB21 ,  5E343BB71 ,  5E343CC62 ,  5E343DD21 ,  5E343ER16 ,  5E343ER18 ,  5E343FF07 ,  5E343FF16 ,  5E343GG08 ,  5E343GG20
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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