特許
J-GLOBAL ID:201003074560768290
感光性樹脂組成物、並びにこれを用いた感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-062856
公開番号(公開出願番号):特開2010-217400
出願日: 2009年03月16日
公開日(公表日): 2010年09月30日
要約:
【課題】 直接描画露光においても高感度であり、解像度、密着性及び剥離特性がいずれも良好である感光性樹脂組成物、並びにこれを用いた感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法を提供する。【解決手段】 (A)バインダーポリマー、(B)エチレン性不飽和結合を少なくとも1つ有する光重合性化合物及び(C)光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物であって、前記(A)バインダーポリマーが、(メタ)アクリル酸ベンジルエステル又は(メタ)アクリル酸ベンジルエステル誘導体に基づく構成単位を含み、前記(C)光重合開始剤が、(C1)アクリジニル基を2つ有するアクリジン化合物を含む感光性樹脂組成物。【選択図】 なし
請求項(抜粋):
(A)バインダーポリマー、(B)エチレン性不飽和結合を少なくとも1つ有する光重合性化合物及び(C)光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物であって、
前記(A)バインダーポリマーが、(メタ)アクリル酸ベンジルエステル又は(メタ)アクリル酸ベンジルエステル誘導体に基づく構成単位を含み、
前記(C)光重合開始剤が、(C1)アクリジニル基を2つ有するアクリジン化合物を含む感光性樹脂組成物。
IPC (6件):
G03F 7/033
, G03F 7/004
, G03F 7/027
, G03F 7/031
, H05K 3/06
, H05K 3/18
FI (7件):
G03F7/033
, G03F7/004 512
, G03F7/027 502
, G03F7/027 511
, G03F7/031
, H05K3/06 J
, H05K3/18 D
Fターム (25件):
2H125AC34
, 2H125AC45
, 2H125AM13P
, 2H125AM22P
, 2H125AM32P
, 2H125AN12P
, 2H125AN22P
, 2H125AN47P
, 2H125AN82P
, 2H125BA02P
, 2H125BA09P
, 2H125BA17P
, 2H125CA13
, 2H125CB03
, 2H125CC01
, 2H125CC13
, 5E339BC02
, 5E339BE13
, 5E339CE11
, 5E339CF16
, 5E339CF17
, 5E343CC63
, 5E343DD32
, 5E343ER18
, 5E343GG08
引用特許: