特許
J-GLOBAL ID：201403096396370517

分割方法及び分割装置

発明者：
高澤 徹

高澤 徹 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (1件)： 松本 昂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-111872
公開番号（公開出願番号）：特開2014-232763
出願日： 2013年05月28日
公開日（公表日）： 2014年12月11日
要約：
【課題】斜め割れの可能性を低く抑えた分割方法及び分割装置を提供する。【解決手段】分割予定ライン(17)に沿って分割起点(21)が形成され、シート(23)に貼着された円形板状物(11)の外周側のシートを固定するシート固定ステップと、分割バー(20)の伸長方向と円形板状物の分割予定ラインの伸長方向とを平行に位置付けると共に、分割バーを円形板状物の中央に位置付ける位置付けステップと、シートを介して分割バーで円形板状物を吸引しつつ、分割すべき分割予定ラインの伸長方向と直交する方向において、分割バーを円形板状物の中央から外周縁の一端(E1)側に向かって移動させる第一分割ステップと、シートを介して分割バーで円形板状物を吸引しつつ、分割バーを円形板状物の中央から外周縁の他端(E2)側に向かって移動させる第二分割ステップと、を備える構成とした。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
分割予定ラインに沿って分割起点が形成されるとともにシート上に貼着された円形板状物に対して吸引によって外力を付与する分割バーを備えた分割装置で該分割予定ラインに沿って分割する分割方法であって、 分割予定ラインに沿って分割起点が形成されるとともにシート上に貼着された円形板状物の外周側の該シートを固定するシート固定ステップと、 分割バーの伸長方向と円形板状物の該分割予定ラインの伸長方向とを平行に位置付けるとともに該分割バーを円形板状物の中央に該シートを介して位置付ける位置付けステップと、 該シート固定ステップと該位置づけステップとを実施した後、該シートを介して該分割バーで円形板状物を吸引しつつ、分割すべき該分割予定ラインの伸長方向と直交方向に該分割バーを円形板状物の中央から一端の外周縁に向かって移動させ、円形板状物の半分に相当する領域の該分割予定ラインで円形板状物を分割する第一分割ステップと、 該第一分割ステップを実施した後、該シートを介して該分割バーで円形板状物を吸引しつつ、該分割バーを円形板状物の中央から他端の外周縁に向かって移動させ、円形板状物の残りの半分に相当する領域の該分割予定ラインで円形板状物を分割する第二分割ステップと、を備えたことを特徴とする分割方法。
IPC (2件)：
H01L 21/301 ,  B28D 5/00
FI (2件)：
H01L21/78 T ,  B28D5/00 A
Fターム (11件)：
3C069AA02 ,  3C069BA00 ,  3C069BB01 ,  3C069CA05 ,  3C069CB01 ,  3C069EA04 ,  3C069EA05 ,  5F063AA04 ,  5F063CB07 ,  5F063CB28 ,  5F063DD83
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (2件)

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