特許

J-GLOBAL ID：201403098556058992

基板検査方法

発明者： リ,ヒュン-キ ,  クウォン,ダル-アン ,  ジョン,ジョン-ユル
出願人/特許権者： コー・ヤング・テクノロジー・インコーポレーテッド
代理人 (3件)： 中島 淳 ,  加藤 和詳 ,  西元 勝一
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-533772
公開番号（公開出願番号）：特表2013-545972
出願日： 2011年10月13日
公開日（公表日）： 2013年12月26日
要約：

測定対象物が形成された基板を検査する方法が提供される。基板検査方法は、測定対象物が形成された基板を測定し、基板の平面方程式を生成し、基板に形成された測定対象物の領域を求める。その後、測定対象物の領域を測定対象物の高さを考慮して平面方程式による基板面に変換する。その後、平面方程式による基板面に変換された測定対象物の領域と基準データによる測定対象物の領域とに基づいて測定対象物を検査する。このように、測定対象物が形成された基板の傾いた姿勢に準じて測定対象物のオフセット値を求め、このオフセット値を用いて測定データの歪曲を補償することで、測定データの信頼性を向上させることができる。

請求項（抜粋）：

測定対象物が形成された基板を撮像部で測定して前記基板の平面方程式を生成し、 前記測定された基板に形成された測定対象物の領域を求め、 前記測定対象物の領域を前記測定対象物の高さを考慮して前記平面方程式による基板面に変換し、 前記平面方程式による基板面に変換された測定対象物の領域と基準データによる測定対象物の領域とに基づいて前記測定対象物を検査すること、 を含む基板検査方法。

IPC (2件)：

G01B 11/00 ,  G01B 11/26

FI (2件)：

G01B11/00 D ,  G01B11/26 H

Fターム (33件)：

2F065AA04 ,  2F065AA06 ,  2F065AA16 ,  2F065AA17 ,  2F065AA24 ,  2F065AA37 ,  2F065AA43 ,  2F065AA53 ,  2F065BB01 ,  2F065BB27 ,  2F065CC01 ,  2F065EE07 ,  2F065EE08 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065FF06 ,  2F065FF09 ,  2F065FF21 ,  2F065GG04 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ19 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL41 ,  2F065LL46 ,  2F065LL59 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ38 ,  2F065RR08 ,  2F065TT01 ,  2F065TT02 ,  2F065TT08 ,  2F065UU04

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-208803
  
• 電子基板検査方法及びそれを用いた装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-227790   出願人：松下電器産業株式会社
• マウント検査部における照明装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-336527   出願人：澁谷工業株式会社