特許
J-GLOBAL ID：201403099369582161

Fe-Co系合金スパッタリングターゲット材およびその製造方法並びに軟磁性薄膜層とそれを使用した垂直磁気記録媒体

発明者：
長谷川 浩之

長谷川 浩之 について

, 
澤田 俊之

澤田 俊之 について

, 
松原 慶明

松原 慶明 について


出願人/特許権者：
山陽特殊製鋼株式会社

山陽特殊製鋼株式会社 について


代理人 (1件)： 椎名 彊
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-179811
公開番号（公開出願番号）：特開2014-037569
出願日： 2012年08月14日
公開日（公表日）： 2014年02月27日
要約：
【課題】スパッタリング中に割れないFe-Co系合金スパッタリングターゲット材を提供する。【解決手段】Fe-Co-M系合金の式(1)において、原子比が0≦X≦100、4≦Y≦28であり、M元素としてNb、Ta、Mo、W、Cr、Vの1種または2種以上を含有するスパッタリングターゲット材であって、該スパッタリングターゲット材のミクロ組織がFeとCoを主体とする相とFeとCoの一種または二種とM元素からなる金属間化合物相を有し、ミクロ組織全体に占める共晶組織の面積が30%以下であるミクロ組織を有することを特徴とするFe-Co系合金スパッタリングターゲット材。(FeX-Co100-X)100-YMY...(1)【選択図】図2
請求項（抜粋）：
Fe-Co-M系合金の式(1)において、原子比が0≦X≦100、4≦Y≦28であり、M元素としてNb、Ta、Mo、W、Cr、Vの1種または2種以上を含有するスパッタリングターゲット材であって、該スパッタリングターゲット材のミクロ組織がFeとCoを主体とする相とFeとCoの一種または二種とM元素からなる金属間化合物相を有し、ミクロ組織全体に占める共晶組織の面積が30%以下であるミクロ組織を有することを特徴とするFe-Co系合金スパッタリングターゲット材。 (FeX -Co100-X )100-Y MY ... (1)
IPC (9件)：
C22C 38/00 ,  C22C 19/07 ,  C22C 30/00 ,  C22C 1/04 ,  C22C 33/02 ,  C23C 14/34 ,  H01F 41/18 ,  H01F 10/16 ,  H01F 10/14
FI (9件)：
C22C38/00 303S ,  C22C19/07 C ,  C22C30/00 ,  C22C1/04 F ,  C22C33/02 L ,  C23C14/34 A ,  H01F41/18 ,  H01F10/16 ,  H01F10/14
Fターム (13件)：
4K018AA10 ,  4K018AA25 ,  4K018EA16 ,  4K018KA29 ,  4K018KA43 ,  4K029BC06 ,  4K029BD11 ,  4K029DC04 ,  4K029DC09 ,  5E049AA01 ,  5E049AA04 ,  5E049BA11 ,  5E049GC02
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (1件)

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