軟磁性FeCo系ターゲット材

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：椎名彊
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-306881
公開番号（公開出願番号）：特開2008-121071
出願日： 2006年11月13日
公開日（公表日）： 2008年05月29日
要約：

【課題】軟磁性薄膜を形成するためのFeCo系ターゲット材を提供する。【解決手段】FeCo系合金において、Fe:Coのat比が10:90〜70:30とすることを特徴とする軟磁性FeCo系ターゲット材。また、上記にAlまたはCrの1種または2種を0.2〜5.0at%含有させてなる軟磁性FeCoターゲット材。さらに、上記にB,Nb、Zr,Ta,Hf,Ti,Vのいずれか1種または2種以上を30at%以下含有させてなるFeCo軟磁性ターゲット材。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

FeCo系合金において、Fe:Coのat比が10:90〜70:30とすることを特徴とする軟磁性FeCo系ターゲット材。

IPC (10件)：

C22C 38/00 , C23C 14/34 , C23C 14/06 , G11B 5/851 , C22C 38/10 , C22C 38/30 , C22C 19/07 , H01F 10/16 , G11B 5/667 , H01F 41/18

FI (10件)：

C22C38/00 303S , C23C14/34 A , C23C14/06 T , G11B5/851 , C22C38/10 , C22C38/30 , C22C19/07 C , H01F10/16 , G11B5/667 , H01F41/18

Fターム (25件)：

4K018AA10 , 4K018AA24 , 4K018BA16 , 4K018EA01 , 4K018EA11 , 4K018KA29 , 4K029BA24 , 4K029BA26 , 4K029BC06 , 4K029BD11 , 4K029CA05 , 4K029DC04 , 4K029DC09 , 4K029DC39 , 5D006CA03 , 5D006EA03 , 5D112AA04 , 5D112BB02 , 5D112FA04 , 5D112FB06 , 5D112FB14 , 5E049AA01 , 5E049AA04 , 5E049BA06 , 5E049GC02

引用特許：

出願人引用 (3件)

Fe-Co-B系合金ターゲット材、その製造方法、軟磁性膜および磁気記録媒体ならびにTMR素子
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-100406 出願人：日立金属株式会社
Co合金ターゲット材の製造方法、Co合金ターゲット材および垂直磁気記録用軟磁性膜ならびに垂直磁気記録媒体
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-109958 出願人：日立金属株式会社
米国特許公開出願2002/0058159Al号公報

審査官引用 (14件)

軟磁性薄膜の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-234548 出願人：川崎製鉄株式会社
特開平4-275407
磁気記録媒体、その製造方法および磁気記録再生装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-372064 出願人：昭和電工株式会社

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