特許

J-GLOBAL ID：201403099865692295

プラズマの点火及び維持の方法と装置

発明者： ベンジャミン・ニール・マーティン・ポール ,  フィッシャー・アンドレアス
出願人/特許権者： ラム リサーチ コーポレーション
代理人 (2件)： 特許業務法人明成国際特許事務所 ,  井上 佳知
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-534407
公開番号（公開出願番号）：特表2014-500574
出願日： 2011年10月03日
公開日（公表日）： 2014年01月09日
要約：

【解決手段】プラズマを発生させるための装置は、プラズマ生成容器と、コイル長を有するコイルと、第1の部分的取り囲み長手方向導電性(PELOC)フィンガセットと、第2のPELOCフィンガセットとを含む。PELOCフィンガセットは、容器の長手方向軸に沿って配向され、それぞれ容器の周りを部分的に取り囲んでいる。2つのPELOCフィンガセットは、フィンガの先端同士が向き合うように及びコイル長未満のセット間距離で隔てられるように配向されている。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

プラズマを発生させるための装置であって、 内部で前記プラズマが生成される容器と、 前記プラズマを少なくとも維持するためにRFドライバ信号を受信するように構成され、コイル長を有するコイルと、 前記容器の長手方向軸に沿って配向され、前記容器の周りを部分的に取り囲む、第1の部分的取り囲み長手方向導電性(PELOC)フィンガセットであって、前記コイルの第1の端部に電気的に結合されている第1のPELOCフィンガセットと、 前記容器の前記長手方向軸に沿って配向され、前記容器の前記周りを部分的に取り囲む、第2の部分的取り囲み長手方向導電性(PELOC)フィンガセットであって、前記コイルの第2の端部に電気的に結合されている第2のPELOCフィンガセットと、 を備え、 前記第1のPELOCフィンガセット及び前記第2のPELOCフィンガセットは、前記第1のPELOCフィンガセットのフィンガの先端が前記第2のPELOCフィンガセットのフィンガの先端の方向を向くように配向され、前記コイル長未満のセット間距離で隔てられている、装置。

IPC (1件)：

H05H 1/30

FI (1件)：

H05H1/30

引用特許：

審査官引用 (4件)

• プラズマを発生する方法および装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-302771   出願人：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド
• 特許第6264812号
  
• 研磨装置及び研磨方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-199863   出願人：東京エレクトロン株式会社
• 特許第6284668号