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J-GLOBAL ID：201502202342444395   整理番号：15A1328128

フェムト秒レーザーアブレーションにより固体表面に自己組織的に形成するナノ周期構造

Periodic Surface Structures Self-Organized on Solid Materials Ablated by Femtosecond Laser Pulses

著者 (9件)： 橋田昌樹 (京大 化研 先端ビームナノ科セ) ,  橋田昌樹 (京大 大学院理学研究科) ,  宮坂泰弘 (京大 化研 先端ビームナノ科セ) ,  清水雅弘 (京大) ,  坂上仁志 (自然科学研究機構 核融合科研) ,  井上峻介 (京大 化研 先端ビームナノ科セ) ,  井上峻介 (京大 大学院理学研究科) ,  阪部周二 (京大 化研 先端ビームナノ科セ) ,  阪部周二 (京大 大学院理学研究科)
資料名： レーザー研究  (レーザー学会誌)
巻： 43  号： 11  ページ： 745-751  発行年： 2015年11月20日 
JST資料番号： X0335A  ISSN： 0387-0200  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： フェムト秒レーザのフルエンスをレーザアブレーション閾値以上に調整し,レーザビームを固体表面に照射すると,長いパルスレーザ照射と異なる現象が現れる。自己組織的に形成されるナノ周期構造もその1つである。本論文では,ナノ周期構造形成の実験結果を整理し,形成機構モデルやシミュレーションの結果と対比し,周期構造を説明した。形成機構として,パラメトリック崩壊過程,双方向励起表面プラズマ波,表面プラズモンポラリトンなどを考慮した。ナノ構造の形成機構には,表面プラズモンポラリトンの双方向励起などが関与している。

シソーラス用語： *レーザアブレーション ,  フェムト秒レーザ ,  表面 ,  自己組織化 ,  *パターン形成 ,  周期構造 ,  ナノ構造 ,  *レーザ加工 ,  フルエンス ,  閾値 ,  レーザビーム ,  *パルスレーザ照射 ,  構造形成 ,  計算機シミュレーション ,  表面プラズモン ,  ポラリトン ,  固体表面 ,  計算機利用 ,  利用
準シソーラス用語： *フェムト秒レーザアブレーション ,  表面プラズモンポラリトン

分類 (3件)： レーザの応用  (BD04100V) ,  レーザ照射・損傷  (BK16040S) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (49件)：

• M. Hashida, A. Semerok, O. Govert, G. Petite, Y. Izawa, and J. F-. Wagner: Appl. Surf. Sci. 197-198 (2002) 862.
• M. Hashida, M. Fujita, M. Tsukamoto, A. Semerok, O. Govert, G. Petite, Y. Izawa, and J. F-. Wagner: Proc. SPIE 4830 (2003) 452.
• T. Jia, H. Chen, M. Huang, F. Zhao, J. Qiu, R. Li, Z. Xu, X. He, J. Zhang, and H. Kuroda: Phys. Rev. B 72 (2005) 125429.
• T. H. Crawford, H. K. Haugen: Appl. Surf. Sci. 253 (2007) 4970.
• T. Hwang and C. Guo: J. Appl. Phys. 108 (2010) 073523.

タイトルに関連する用語 (4件)： フェムト秒レーザーアブレーション ,  固体表面 ,  自己組織 ,  周期構造