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J-GLOBAL ID：201502202727421760   整理番号：15A0860084

高感度及び小型マルチビーム角度センサを用いた高精度微小粗さ測定機の開発

Development of high-precision micro-roundness measuring machine using a high-sensitivity and compact multi-beam angle sensor

著者 (3件)： CHEN Meiyun (Fac. of Engineering, Dep. of Precision Engineering, The Univ. of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-ku, Tokyo 113-8656, JPN) ,  TAKAHASHI Satoru (Res. Center for Advanced Sci. and Technol., The Univ. of Tokyo, 4-6-1 Komaba, Meguro-ku, Tokyo 153-8904, JPN) ,  TAKAMASU Kiyoshi (Fac. of Engineering, Dep. of Precision Engineering, The Univ. of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-ku, Tokyo 113-8656, JPN)
資料名： Precision Engineering  (Precision Engineering)
巻： 42  ページ： 276-282  発行年： 2015年10月 
JST資料番号： A0734B  ISSN： 0141-6359  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高度な製造業における最近の発展に関して,寸法計測におけるナノメーター精度に対する要求は急激に増大している。これらの要求を満たすために,マルチビーム角度センサ(MBAS)を用いた高精度微小粗さ測定機(micro-RMM)を提案した。micro-RMMは,MBAS,回転ユニットおよび軸受システムの3つの部分を含んでいる。MBASはmicro-RMMの動作精度を向上させるために設計し確立した。MBASのサイズは,125(L)mmX130(W)mmX90(H)mmである。他の方法と比較して,MBASは角度検出時のスピンドル誤差(ステージ-独立)には敏感でなく,小型形状でも高い感度を維持し,工場レベルで便利に使用できる。本稿で報告する光学プローブは,オートコリメータの原理に基づいておりMBASを用いた場合に安定性を向上させた。マルチプローブ法と異なり,micro-RMMは,器差の影響を受けない1つのプローブのみを用いることによって表面粗さ測定を実現するために構築した。粗さ測定のためのマルチビーム角度センサの実用性検証の実験結果についても示した。Copyright 2015 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： センサ ,  測深 ,  ナノテクノロジー ,  *表面粗さ ,  スピンドル ,  *光プローブ
準シソーラス用語： ナノメータテクノロジー ,  マルチビーム深度計測 ,  *角度センサ ,  角度検出器 ,  粗さ【表面】

分類 (3件)： 計測機器一般  (AD02000X) ,  幾何学的・力学的量の計測一般  (AD05010D) ,  長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (7件)： 高感度 ,  マルチビーム ,  角度センサ ,  微小 ,  粗さ ,  測定機 ,  開発