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J-GLOBAL ID：201502207152865506   整理番号：15A0715791

真空紫外光(VUV)と水和物架橋を用いた低温大気圧ハイブリッド接合

Low Temperature Hybrid Bonding at Atmospheric Pressure by Using Vacuum Ultraviolet (VUV)/Vapor-Assisted Method

著者 (4件)： SHIGETOH Akitsu (NIMS) ,  HOSODA Naoe (NIMS) ,  MIZUNO Jun (Waseda Univ.) ,  SHOJI Shuichi (Waseda Univ.)
資料名： 日本化学会講演予稿集  (日本化学会春季年会講演予稿集)
巻： 95th  号： 1  ページ： 31  発行年： 2015年03月11日 
JST資料番号： S0493A  ISSN： 0285-7626  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本講演では,真空紫外光照射と純水蒸気導入を利用した(VUV/Vapor-assisted)接合手法を用いて,有機・無機材料の150°C・大気圧雰囲気での一括接合を実現するためのプロセス条件最適化について述べる。大気圧窒素雰囲気でのVUV照射による初期汚染物質分子層の除去と,体積湿度により厚さを制御した水和物架橋形成により,銅や透明樹脂などの異種材料が強固に一括接合された。これにより,Bio-Inspired材料と従来のエレクトロニクス材料が高度にインテグレーションされる可能性が拡がる。(著者抄録)

シソーラス用語： 真空紫外線 ,  *紫外線照射 ,  *有機-無機ハイブリッド ,  水和物 ,  架橋【高分子】 ,  *光架橋 ,  除去 ,  浄化 ,  気圧 ,  最適条件 ,  最適化 ,  電子技術 ,  *銅 ,  石英 ,  *ポリジメチルシロキサン ,  接合 ,  透明材料 ,  湿度 ,  依存性 ,  水蒸気
準シソーラス用語： イオン架橋 ,  UV架橋 ,  汚染物除去 ,  大気圧 ,  バイオインスパイアード材料 ,  エレクトロニクス ,  湿度依存性

分類 (3件)： 分子化合物  (CE02000C) ,  有機けい素化合物  (CF08030C) ,  光化学反応  (CB08020F)

タイトルに関連する用語 (5件)： VUV ,  水和物 ,  架橋 ,  低温 ,  大気圧